[发明专利]标定方法及标定装置有效
| 申请号： | 201611062006.7 | 申请日： | 2016-11-25 |
| 公开（公告）号： | CN106502058B | 公开（公告）日： | 2018-07-27 |
| 发明（设计）人： | 史喆琼 | 申请（专利权）人： | 天津津芯微电子科技有限公司 |
| 主分类号： | G03F7/20 | 分类号： | G03F7/20 |
| 代理公司： | 北京超凡志成知识产权代理事务所(普通合伙) 11371 | 代理人： | 马维丽 |
| 地址： | 300457 天津市滨海新区天津经济技术开发区黄海路1*** | 国省代码： | 天津;12 |
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| 摘要： | 本发明提供了一种标定方法和标定装置，用于光刻机XY轴载物平台偏摆在线测试，属于光刻技术领域。本发明公开的一种标定方法，在光刻机的XY轴载物平台上放置标定板；选定需要标定的图形点A和B，读取A与B之间的距离为d1；将图形点A的中心移动到第一相机的中心点重合；微调第二相机，使图形点B位于第二相机的视野范围内，读取两相机之间的距离d2，以及第二相机中心点和标定点之间的距离d3；根据d1、d2、d3计算标定板的偏摆角a，该方法可以在线测试偏摆，能够实现平台在线测试偏摆，解决了现有技术中光刻机平台整机组装成功后无法测量偏摆的技术问题。 | ||
| 搜索关键词： | 标定 方法 装置 | ||
【主权项】：
1.一种标定方法，用于光刻机XY轴载物平台偏摆在线测试，其特征在于，所述方法包括：在光刻机的XY轴载物平台上放置标定板；选定需要标定的图形点A和B，读取A与B之间的距离为d1；将图形点A的中心移动到第一相机的中心点重合；微调第二相机，使图形点B位于第二相机的视野范围内，读取两相机之间的距离d2，以及第二相机中心点和标定点之间的距离d3；根据d1、d2、d3计算标定板的偏摆角a；所述第一相机固定在XY轴载物平台的上方，所述第二相机与所述第一相机等高放置，且两者的Y轴坐标相同，所述第二相机能够沿X轴方向移动。
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