[发明专利]一种高密闭性碲镉汞气相外延的石英套管有效
| 申请号： | 201611063662.9 | 申请日： | 2016-11-25 |
| 公开（公告）号： | CN106435718B | 公开（公告）日： | 2018-08-14 |
| 发明（设计）人： | 王仍;焦翠灵;徐国庆;陆液;张可锋;张莉萍;林杏潮;杜云辰;邵秀华 | 申请（专利权）人： | 中国科学院上海技术物理研究所 |
| 主分类号： | C30B23/02 | 分类号： | C30B23/02;C30B29/48 |
| 代理公司： | 上海新天专利代理有限公司 31213 | 代理人： | 郭英 |
| 地址： | 200083 *** | 国省代码： | 上海;31 |
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| 摘要： | 本发明公开了一种用于碲镉汞气相外延生长的石英套管，该石英套管由99.99999％的高纯石英材料制成的石英外管、石英限位管和石英内管和石英塞组成。石英外管是一端封闭，一端开口的圆柱体结构，开口端与封闭门相连。石英限位管为圆柱体杯状结构，放置在石英外管内部，靠近封闭端。石英内管是一个一端封闭，一端带有椎度开口的圆柱体结构。石英塞也有带锥度圆柱体的中空的磨砂口塞子，与石英内管匹配，石英塞与带弹簧的不锈钢管相连。石英内管和石英塞均放置在石英外管内部，靠近封闭门。石英内管内部放置可以进行气相外延的石墨舟。该石英套管用于碲镉汞气相外延生长，实现高密闭性、快速升降温的碲镉汞气相外延生长。 | ||
| 搜索关键词： | 一种 密闭 性碲镉汞气相 外延 石英 套管 | ||
【主权项】：
1.一种高密闭性碲镉汞气相外延的石英套管，包括石英外管(1)、石英限位管(2)和石英内管(3)和石英塞(4)，其特征在于：所述的石英外管(1)是一端封闭，一端开口的圆柱体结构，壁厚5mm；在封闭端底部有用来放置热电偶的凹口；所述的石英限位管(2)是圆柱体杯状结构，壁厚4mm；所述的石英内管(3)是一端封闭，一端带有锥度开口的圆柱体结构，壁厚3mm，开口锥度为10°，直径小于60mm；所述的石英塞(4)是有带锥度圆柱体的中空的磨砂口塞子，锥度为10°，内部中空部分为直径40mm，长75mm；所述石英限位管(2)放置在石英外管(1)内部，靠近封闭端，石英内管(3)亦放置在石英外管(1)内部，靠近开口端，通过石英限位管(2)的长度控制石英内管(3)在石英外管(1)内的位置；所述的石英塞(4)与石英内管(3)匹配，石英塞(4)内部中空部分与带弹簧的不锈钢管(7)相连，便于在气相外延过程中对石英内管(3)进行密封和开启。
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