[发明专利]一种扫描带电粒子显微镜系统及振动补偿方法在审
| 申请号： | 201611065160.X | 申请日： | 2016-11-28 |
| 公开（公告）号： | CN106653538A | 公开（公告）日： | 2017-05-10 |
| 发明（设计）人： | 何伟;李帅 | 申请（专利权）人： | 聚束科技（北京）有限公司 |
| 主分类号： | H01J37/28 | 分类号： | H01J37/28 |
| 代理公司： | 北京派特恩知识产权代理有限公司11270 | 代理人： | 张颖玲,李梅香 |
| 地址： | 100176 北京市大兴区北京经*** | 国省代码： | 北京;11 |
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| 摘要： | 本发明公开了一种扫描带电粒子显微镜系统，包括扫描带电粒子显微镜、传感装置、处理器和位移调节装置；其中，所述扫描带电粒子显微镜，用于产生带电粒子束，所述带电粒子束用于照射至待测样品；所述传感装置，与所述扫描带电粒子显微镜和所述待测样品连接，用于测量所述扫描带电粒子显微镜的镜筒的振动参数和所述样品的振动参数；所述处理器，用于对所述镜筒的振动参数和所述待测样品的振动参数进行处理，获得所述样品相对于所述镜筒的相对运动参数；并根据所述相对运动参数控制调节所述位移调节装置、所述扫描带电粒子显微镜的偏转器和所述扫描带电粒子显微镜的聚焦镜。本发明还公开了一种振动补偿方法。 | ||
| 搜索关键词： | 一种 扫描 带电 粒子 显微镜 系统 振动 补偿 方法 | ||
【主权项】：
一种扫描带电粒子显微镜系统，其特征在于，所述系统包括：扫描带电粒子显微镜、传感装置、处理器和位移调节装置；其中，所述扫描带电粒子显微镜，用于产生带电粒子束，所述带电粒子束用于照射至待测样品；所述传感装置，与所述扫描带电粒子显微镜和所述待测样品连接，用于测量所述扫描带电粒子显微镜的镜筒的振动参数和所述样品的振动参数；所述处理器，用于对所述镜筒的振动参数和所述待测样品的振动参数进行处理，获得所述样品相对于所述镜筒的相对运动参数；并根据所述相对运动参数控制调节所述位移调节装置、所述扫描带电粒子显微镜的偏转器和所述扫描带电粒子显微镜的聚焦镜。
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