[发明专利]用于纳米级金属薄膜厚度测量的差动式SPR相位检测装置

摘要

本发明公开了一种用于纳米级金属薄膜厚度测量的差分式SPR相位检测装置，包括依次位于同一光轴上的激光光源、偏振片、分光棱镜、反射镜、干涉结构和成像结构，反射镜和干涉结构之间设置斜面镀有金属薄膜传感棱镜；入射光经光路I和光路II反射入干涉结构。金属薄膜沿所述传感棱镜斜面长度方向形成带状成膜区域，且与无金属模区域的斜面形成膜厚台阶，膜厚台阶上的两光束从对称方向或同向同时入射。本发明的有益效果是：消除共模干扰，改善整个系统的非线性，从而提高了薄膜厚度的测量精度和灵敏度，并能够实时监测薄膜的厚度；非接触式测量，不会划伤测量样品；整体测量结构简单、操作简便，适用范围广。

主权项

一种用于纳米级金属薄膜厚度测量的差分式SPR相位检测装置，包括：设置在工作台(18)上的激光光源(1)、偏振片(2)、分光棱镜(3)、反射镜(4)、干涉结构和成像结构，其中激光光源(1)、偏振片(2)、分光棱镜(3)和反射镜(4)依次位于同一光轴上，其特征在于，所述反射镜(4)和干涉结构之间设置有激发SPR效应的传感棱镜(5)，所述传感棱镜(5)的斜面镀有金属薄膜(6)；入射光经反射镜(4)、传感棱镜(5)在所述金属薄膜(6)激发SPR效应后形成光路I反射入所述干涉结构；入射光经分光棱镜(3)、光反射机构、传感棱镜(5)在所述金属薄膜(6)激发SPR效应后再返回光反射机构形成光路II反射入所述干涉结构。