[发明专利]一种高精度气体流量控制系统及方法

摘要

本发明公开一种高精度的气体流量控制系统及方法，控制系统包括：比例阀数字预处理单元，根据PWM脉冲的位数及比例阀的最大开启度，生成脉冲宽度‑比例阀开启度响应曲线并存储；比例阀开启度控制单元，根据当前气体流量信号及设定气体流量生成比例阀的期望开启度；脉冲宽度调取单元，根据期望开启度及脉冲宽度‑比例阀开启度响应曲线，确定期望脉冲宽度值；PWM脉冲生成单元，生成对应期望脉冲宽度值的PWM脉冲并将所述PWM脉冲输出给比例阀的控制端。本发明优化了比例阀在低量程的响应特性，加快了气体流量控制的速度；通过将比例阀开口向上的抛物线响应曲线进行线性处理，比例阀的响应满足线性关系，提高了气体流量控制的控制精度。

主权项

一种高精度的气体流量控制系统，其特征在于，所述气体流量控制系统包括：比例阀数字预处理单元、比例阀开启度控制单元、脉冲宽度调取单元和PWM脉冲生成单元，其中，所述比例阀数字预处理单元，用于根据所述PWM脉冲生成单元产生的PWM脉冲的位数及比例阀的最大开启度，生成脉冲宽度‑比例阀开启度响应曲线并存储；所述比例阀开启度控制单元，用于根据所述气体流量传感器采集的当前气体流量信号及设定气体流量确定所述比例阀的期望开启度；所述脉冲宽度调取单元，用于从所述比例阀数字预处理单元中调取所述脉冲宽度‑比例阀开启度响应曲线，并根据所述期望开启度及所述脉冲宽度‑比例阀开启度响应曲线，确定所述期望开启度对应的期望脉冲宽度值；所述PWM脉冲生成单元，用于根据所述期望脉冲宽度值生成对应所述期望脉冲宽度值的PWM脉冲，并将所述对应所述期望脉冲宽度值的PWM脉冲输出给所述比例阀的控制端。