[发明专利]一种生产多晶硅的装置及其应用

摘要

本发明涉及一种生产多晶硅的装置及其应用，包括硅制作的同心筒、硅制作的实心棒、绝缘板、绝缘隔离套和收集单元，实心棒设在同心筒中间，实心棒与同心筒固定在绝缘板下部，绝缘隔离套设在同心筒的外壁，收集单元设在底部，同心筒和实心棒的上部设有接入电源的电极，同心筒和实心棒之间间隙形成反应通道，装置还设有气体通道口。与现有技术相比，本发明采用硅制作的实心棒与同心筒形成反应通道，使硅沉积和熔融时接触面为硅‑硅，避免熔融硅与其他材料接触而受到污染，避免杂质带入，从而保证生产的多晶硅质量得到保障，生产的多晶硅无污染，通过接触导电或电弧放电加热并熔化沉积的多晶硅，使生产连续化进行，生产效率高。

主权项

1.一种生产多晶硅的装置，其特征在于，该装置包括硅制作的同心筒、硅制作的实心棒、绝缘板、绝缘隔离套和收集单元，所述的实心棒设在同心筒的中间，同心筒和实心棒固定在绝缘板的下部，所述的绝缘隔离套设在同心筒的外壁，所述的收集单元设在同心筒和实心棒的底部，同心筒和实心棒的上部设有接入电源的电极，同心筒和实心棒之间的间隙形成反应通道，所述的同心筒设有一个或者将多个不同大小的同心筒套设，装置还设有气体通道口，所述的实心棒与同心筒、以及同心筒之间的间隙距离为5‑20mm，随着多晶硅沉积物的增加，相邻实心棒与同心筒接入有电势差的电源，实心棒和同心筒表面的多晶硅沉积物发生接触而导电或者间隙中的气体被击穿产生电弧放电，沉积的多晶硅被加热、融化，落入下部的收集单元内，收集得到多晶硅。