[发明专利]半导体刻蚀设备的钟摆阀锁环组件及其锁环手柄延长治具在审
| 申请号： | 201611075499.8 | 申请日： | 2016-11-30 |
| 公开（公告）号： | CN106523780A | 公开（公告）日： | 2017-03-22 |
| 发明（设计）人： | 杨保勋;季高明;刘东升;吕煜坤;朱骏;张旭升 | 申请（专利权）人： | 上海华力微电子有限公司 |
| 主分类号： | F16K35/00 | 分类号： | F16K35/00;F16K31/60 |
| 代理公司： | 上海思微知识产权代理事务所(普通合伙)31237 | 代理人： | 智云 |
| 地址： | 201203 上海市*** | 国省代码： | 上海;31 |
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| 摘要： | 本发明提供一种半导体刻蚀设备的钟摆阀锁环组件及其锁环手柄延长治具，该钟摆阀锁环组件包括钟摆阀锁环以及用于容纳钟摆阀的钟摆阀外壳，所述钟摆阀锁环的环体的外围设置有锁环手柄，所述锁环手柄具有对应的锁环手柄延长治具，套设于所述手柄外圈；所述锁环手柄延长治具用于将所述锁环手柄延长并带动所述锁环手柄转动，以将所述钟摆阀锁环与所述钟摆阀外壳对准并固定。本发明解决了钟摆阀锁环组件安装过程中的对准卡槽磨损变形问题。 | ||
| 搜索关键词： | 半导体 刻蚀 设备 钟摆 阀锁环 组件 及其 手柄 延长 | ||
【主权项】：
一种半导体刻蚀设备的钟摆阀锁环组件，该钟摆阀锁环组件包括：钟摆阀锁环以及用于容纳钟摆阀的钟摆阀外壳，其特征在于，所述钟摆阀锁环的环体的外围设置有锁环手柄，所述锁环手柄具有对应的锁环手柄延长治具，套设于所述手柄外圈；所述锁环手柄延长治具用于将所述锁环手柄延长并带动所述锁环手柄转动，以将所述钟摆阀锁环与所述钟摆阀外壳对准并固定。
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