[发明专利]具有高吸收效率和信噪比的悬置测辐射热膜的检测装置有效
| 申请号： | 201611076449.1 | 申请日： | 2016-11-29 |
| 公开（公告）号： | CN107063470B | 公开（公告）日： | 2019-04-26 |
| 发明（设计）人： | 塞巴斯蒂安·科蒂亚尔;米歇尔·维兰 | 申请（专利权）人： | 优利斯公司 |
| 主分类号： | G01J5/02 | 分类号： | G01J5/02;G01J5/20;H01L31/09;H01L31/18 |
| 代理公司： | 北京安信方达知识产权代理有限公司 11262 | 代理人： | 张瑞;郑霞 |
| 地址： | 法国弗雷*** | 国省代码： | 法国;FR |
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| 摘要： | 本发明涉及具有高吸收效率和信噪比的悬置测辐射热膜的检测装置。该装置包括：包括读出电路的衬底；基本探测器阵列，每个探测器包括在衬底上方悬置并且通过至少两个电导体连接到读出电路的膜，膜包括分别连接到两个电导体的两个导电电极和电连接两个电极的换能器材料的体积，其中，读出电路被配置为将电刺激施加在膜的两个电极之间并且形成电信号作为对施加的响应。所述体积包括：第一换能器材料的体积，其电连接膜的两个电极并且形成使每个电极至少部分地容纳在其中的封闭外壳的壁；以及第二换能器材料的体积，其电连接两个电极并且容纳在外壳中，第二材料的电阻率小于第一材料的电阻率；且两个换能器材料具有负的电阻率热系数TCR。 | ||
| 搜索关键词： | 电极 换能器材料 读出电路 电连接 悬置 检测装置 吸收效率 电导体 电阻率 辐射热 信噪比 衬底 电阻率热系数 容纳 施加 基本探测器 导电电极 第二材料 第一材料 封闭外壳 电刺激 探测器 响应 配置 | ||
【主权项】：
1.一种辐射热检测装置，包括：衬底，其包括读出电路；基本探测器阵列，每个探测器包括在所述衬底上方悬置并且通过至少两个电导体连接到所述读出电路的膜，所述膜包括分别连接到所述两个电导体的两个导电电极以及电连接所述两个导电电极的换能器材料的体积，其中，所述读出电路被配置为将电刺激施加在所述膜的所述两个导电电极之间并且形成电信号作为对所述施加的响应，其中，所述体积包括：第一换能器材料的体积，其电连接所述膜的所述两个导电电极并且形成使得所述两个导电电极中的每个电极至少部分地容纳在其中的封闭外壳的壁；以及第二换能器材料的体积，其电连接所述两个导电电极并且容纳在所述外壳中，所述第二换能器材料的电阻率小于所述第一换能器材料的电阻率；以及其中，两个换能器材料具有负的电阻率热系数TCR。
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