[发明专利]防止研磨头与研磨垫修整器相撞的装置、方法及研磨设备有效
| 申请号： | 201611076614.3 | 申请日： | 2016-11-30 |
| 公开（公告）号： | CN106475894B | 公开（公告）日： | 2018-10-16 |
| 发明（设计）人： | 吴科 | 申请（专利权）人： | 上海华力微电子有限公司 |
| 主分类号： | B24B37/005 | 分类号： | B24B37/005;B24B55/00 |
| 代理公司： | 上海天辰知识产权代理事务所(特殊普通合伙) 31275 | 代理人： | 吴世华;陈慧弘 |
| 地址： | 201210 上海市浦*** | 国省代码： | 上海;31 |
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| 摘要： | 本发明公开了一种防止研磨头与研磨垫修整器相撞的装置、方法及研磨设备，通过分别将两个磁场发生器封装到研磨头及研磨垫修整器内部，同时将高斯计安装在研磨垫修整器上，并通过高斯计监测到的磁场强度变化来判断研磨头与研磨垫修整器之间的距离，当磁场强度高于设定的临界值时，可使研磨头立刻停止位移，同时研磨垫修整器内置磁场开始工作，产生与研磨头相斥的磁场，使研磨垫修整器开始反向运动，从而有效防止了研磨头与研磨垫修整器相撞的事故。 | ||
| 搜索关键词： | 防止 研磨 修整 相撞 装置 方法 设备 | ||
【主权项】：
1.一种防止研磨头与研磨垫修整器相撞的装置，包括：第一、第二磁场发生器，分别设于研磨头及研磨垫修整器内部，其特征在于，还包括：高斯计，设于研磨垫修整器上；信号处理反馈系统，连接高斯计和第二磁场发生器；其中，在所述研磨头与研磨垫修整器按设定的运动轨迹移动时，通过所述第一磁场发生器持续产生磁场，通过信号处理反馈系统监测高斯计不断切割磁感应线产生的磁感应电流强度，并当该磁感应电流强度超出阈值时触发警报，以使研磨头立刻停止运动，并使第二磁场发生器开始产生逆向磁场，以促使研磨垫修整器反向运动，从而防止研磨头与研磨垫修整器相撞。
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