[发明专利]一种异质结电池的制绒清洗方法在审
| 申请号： | 201611077704.4 | 申请日： | 2016-11-30 |
| 公开（公告）号： | CN106449373A | 公开（公告）日： | 2017-02-22 |
| 发明（设计）人： | 魏青竹;倪志春;陆俊宇;连维飞;吴晨阳 | 申请（专利权）人： | 中利腾晖光伏科技有限公司 |
| 主分类号： | H01L21/02 | 分类号： | H01L21/02;H01L31/18;C30B33/10 |
| 代理公司： | 苏州创元专利商标事务所有限公司32103 | 代理人： | 孙仿卫;李萍 |
| 地址： | 215542 江苏省苏*** | 国省代码： | 江苏;32 |
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| 摘要： | 本发明提供一种异质结电池的制绒清洗方法，其形成的绒面金字塔尖与塔底形貌更加圆润，在不影响反射率的情况下，提高非晶硅的钝化效果。一种异质结电池的制绒清洗方法，在对硅片进行制绒后，采用氢氟酸和硝酸的混合液对硅片的绒面进行清洗。优选地，依次包括如下步骤：S1、对硅片进行第一次清洗；S2、对硅片进行去损处理和制绒；S3、对硅片进行第二次清洗；S4、采用氢氟酸和硝酸的混合溶液对硅片的绒面进行处理；S5、对硅片进行第三次清洗；S6、对硅片进行酸洗；S7、干燥。 | ||
| 搜索关键词： | 一种 异质结 电池 清洗 方法 | ||
【主权项】：
一种异质结电池的制绒清洗方法，其特征在于，在对硅片进行制绒后，采用氢氟酸和硝酸的混合液对硅片的绒面进行清洗。
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H01L21-00 专门适用于制造或处理半导体或固体器件或其部件的方法或设备
H01L21-02 .半导体器件或其部件的制造或处理
H01L21-64 .非专门适用于包含在H01L 31/00至H01L 51/00各组的单个器件所使用的除半导体器件之外的固体器件或其部件的制造或处理
H01L21-66 .在制造或处理过程中的测试或测量
H01L21-67 .专门适用于在制造或处理过程中处理半导体或电固体器件的装置；专门适合于在半导体或电固体器件或部件的制造或处理过程中处理晶片的装置
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