[发明专利]用于单晶硅棒滚磨一体机的自动对中机械手装置在审
申请号: | 201611083551.4 | 申请日: | 2016-11-30 |
公开(公告)号: | CN106670931A | 公开(公告)日: | 2017-05-17 |
发明(设计)人: | 傅林坚;沈文杰;严浩;周锡峰;宛沪生;王凯;何守龙;邱敏秀 | 申请(专利权)人: | 浙江晶盛机电股份有限公司 |
主分类号: | B24B19/22 | 分类号: | B24B19/22;B24B41/00 |
代理公司: | 杭州中成专利事务所有限公司33212 | 代理人: | 周世骏 |
地址: | 312300 浙江*** | 国省代码: | 浙江;33 |
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摘要: | 本发明涉及单晶硅棒滚磨,旨在提供一种用于单晶硅棒滚磨一体机的自动对中机械手装置。该种用于单晶硅棒滚磨一体机的自动对中机械手装置包括水平移动组件、竖直移动组件;水平移动组件用于实现竖直移动组件的水平前后移动,竖直移动组件包括竖直导轨座、电机座组件、机械手爪,用于确保单晶硅棒与机床工作时的运动线路同轴。本发明具有对中精度高、设备结构紧凑、维护方便,生产成本低等优点,能够实现与六自由度机械手完美的衔接。 | ||
搜索关键词: | 用于 单晶硅 棒滚磨 一体机 自动 机械手 装置 | ||
【主权项】:
一种用于单晶硅棒滚磨一体机的自动对中机械手装置,包括水平移动组件、竖直移动组件,其特征在于,所述水平移动组件包括水平底座、水平进给电机、调整固定块、水平尾端轴承座、滑块安装板、水平导轨、滑块、丝杆;水平导轨安装水平底座上,滑块设有四个,分别固定在滑块安装板的四角,且滑块安装在水平导轨上;竖直移动组件固定在滑块安装板上,水平进给电机通过装有丝杆的水平尾端轴承座固定在滑块安装板上,水平进给电机旋转带动丝杆转动,能使得滑块随着滑块安装板的移动而移动,从而实现竖直移动组件的水平前后移动;调整固定块用于在竖直移动组件安装在水平移动组件上时起到调整位置的作用;所述竖直移动组件包括竖直导轨座、电机座组件、机械手爪,用于确保单晶硅棒与机床工作时的运动线路同轴;所述竖直导轨座安装在水平移动组件的滑块安装板上,竖直导轨座为框架结构,竖直导轨座的正面装有两段长导轨;所述电机座组件包括竖直电机座、上夹紧丝杆、下夹紧丝杆、夹紧丝杆联轴器、竖直运动电机、丝杆端盖、联轴器;上夹紧丝杆、下夹紧丝杆通过夹紧丝杆联轴器连接,再通过联轴器、竖直运动电机连接固定在竖直电机座上,下夹紧丝杆的尾端装有丝杆端盖;且上夹紧丝杆、下夹紧丝杆旋向相反,用于保证对中上手爪、对中下手爪同步反方向运行;所述机械手爪包括对中上手爪、对中下手爪、上手爪滑块安装座、下手爪滑块安装座;对中上手爪通过螺钉固定在上手爪滑块安装座上,对中下手爪通过螺钉固定在下手爪滑块安装座上;所述上手爪滑块安装座的底部装有两个滑块,两个滑块分别安装在竖直移动组件的对应一条长导轨上,且两个滑块分别位于长导轨的上半部分;所述下手爪滑块安装座底部安装有四个滑块,且四个滑块两两相对各安装在竖直移动组件的一条长导轨上,且四个滑块位于长导轨的下半部分;所述对中上手爪、对中下手爪的爪心分别设有两个对应的V形槽,即前段小V形槽和后段大V形槽;对中上手爪、对中下手爪分别通过上夹紧丝杆、下夹紧丝杆传递动力,进而使对中上手爪的小V形槽、大V形槽与对中下手爪的小V形槽、大V形槽能配合夹持不同规格单晶硅棒;对中下手爪的爪心上还设有梳齿,并与上料台上的梳齿互相交错,能够将单晶硅棒从上料台转移到对中下手爪的V形槽内。
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