[发明专利]一种表面突起的波导三维模斑转换器及其制作方法在审
| 申请号： | 201611089770.3 | 申请日： | 2016-11-30 |
| 公开（公告）号： | CN106556891A | 公开（公告）日： | 2017-04-05 |
| 发明（设计）人： | 叶彤;储涛;付云飞;吴维轲;李锟;王莹;付志明 | 申请（专利权）人： | 中国科学院半导体研究所;中兴通讯股份有限公司 |
| 主分类号： | G02B6/12 | 分类号： | G02B6/12;G02B6/122 |
| 代理公司： | 中科专利商标代理有限责任公司11021 | 代理人： | 吕雁葭 |
| 地址： | 100083 *** | 国省代码： | 北京;11 |
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| 摘要： | 本发明公开了一种波导三维模斑转换器，包含平板形状的衬底、设置在所述衬底上的下包层以及设置在所述下包层上传输、转换光模斑的芯层，其特征在于所述芯层包括沿光传播方向上宽度变化的楔形；所述楔形表面排布多条条状突起，条状突起与光传播方向之间的夹角在‑45°～45°之间；以及所述条状突起的高度和楔形宽度按照预定规律变化。本发明公开了一种波导三维模斑转换器的制备方法。 | ||
| 搜索关键词： | 一种 表面 突起 波导 三维 转换器 及其 制作方法 | ||
【主权项】：
一种波导三维模斑转换器，包含平板形状的衬底、设置在所述衬底上的下包层以及设置在所述下包层上传输、转换光模斑的芯层，其特征在于：所述芯层包括沿光传播方向上宽度变化的楔形；所述楔形表面排布多条条状突起，条状突起与光传播方向之间的夹角在‑45°～45°之间；以及所述条状突起的高度和楔形宽度按照预定规律变化。
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