[发明专利]一种氧化锆包覆铝粉实现铝粉钝化的方法

摘要

本发明公开了一种氧化锆包覆铝粉实现铝粉钝化的方法，其包括以下步骤：(1)将需要包覆的铝粉放入底部设有滤网的粉体夹持器中，然后将粉体夹持器放入原子层沉积反应器的腔体内进行抽真空；(2)对腔体进行加热，在加热过程中不断向腔体中通入流化气体，使铝粉预分散；(3)当腔体温度到达预设温度开始原子层沉积反应，在所述铝粉表面沉积一层氧化锆薄膜；(4)重复步骤(3)在铝粉表面沉积多层氧化锆薄膜，实现铝粉的钝化。本发明采用原子沉积技术对铝粉颗粒表面包覆一层纳米厚度的氧化锆薄膜，使铝粉钝化，具体操作方便、工艺简单等优点。

主权项

1.一种氧化锆包覆铝粉实现铝粉钝化的方法，其特征在于，采用原子层沉积技术在铝粉表面沉积纳米厚度的氧化锆薄膜对铝粉进行包覆，以实现铝粉的钝化，其包括以下步骤：(1)将需要包覆的粒径为1～10nm的纳米铝粉放入底部设有滤网的粉体夹持器中，然后将所述粉体夹持器放入原子层沉积反应器的腔体内，并进行抽真空；(2)对所述腔体进行加热，在加热过程中不断向腔体中通入流化气体，使铝粉预分散；(3)当腔体温度到达150～180℃且稳定时，开始原子层沉积反应，在所述铝粉表面沉积一层氧化锆薄膜，所述原子层沉积反应包括如下步骤：(3.1)向腔体内通入提供氧原子的第一前驱体，使其与铝粉表面的化学基团发生反应或吸附在铝粉表面，其中，所述第一前驱体为去离子水，第一前驱体与铝粉的反应时间为60～90s；(3.2)向腔体内通入吹扫气体，清除腔体中残余的第一前驱体和反应副产物；(3.3)向腔体内通入提供锆原子的第二前驱体，使其与铝粉表面的第一前驱体的外露基团发生反应；(3.4)向腔体内通入吹扫气体，清除腔体内剩余的第二前驱体和反应副产物；(4)重复步骤(3.1)～(3.4)，在铝粉表面沉积多层氧化锆薄膜，实现铝粉的钝化，使上述沉积有多层氧化锆薄膜的铝粉在60℃的去离子水中产生的氢气的量明显少于等量铝粉产生的氢气的量。