[发明专利]应用于量测的双球杆系统及其误差补偿方法有效
| 申请号： | 201611091440.8 | 申请日： | 2016-12-01 |
| 公开（公告）号： | CN106885511B | 公开（公告）日： | 2020-01-31 |
| 发明（设计）人： | 雷卫台 | 申请（专利权）人： | 雷卫台 |
| 主分类号： | G01B11/00 | 分类号： | G01B11/00 |
| 代理公司： | 11006 北京律诚同业知识产权代理有限公司 | 代理人： | 徐金国 |
| 地址： | 中国台湾新竹市*** | 国省代码： | 中国台湾;71 |
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| 摘要： | 本发明是一种应用于量测的双球杆系统及其误差补偿方法，利用参考双球杆以及校正单元建立误差补偿的基准，根据校正单元提供的中心距离，建立各支工作双球杆的中心距离函数，借此得出工作双球杆在各种位移感测值下精确的中心距离。此外，由于参考双球杆与工作双球杆受到相同的环境温度影响，故通过量测参考双球杆受环境温度变化所产生的热误差位移，可同时对工作双球杆的中心距离进行热误差补偿。 | ||
| 搜索关键词： | 应用于 球杆 系统 及其 误差 补偿 方法 | ||
【主权项】：
1.一种应用于量测的双球杆系统，其特征在于，包含：/n一校正单元，设有至少二个球支撑件，且各该球支撑件相距一参考中心距离；/n至少一双球杆为参考双球杆，其二端设于二该球支撑件，该参考双球杆随一环境温度变化而具有一热误差位移；/n至少一双球杆为工作双球杆，装设于一目标装置，且该工作双球杆受该目标装置带动而具有一位移感测值；以及/n一量测模块，量测该位移感测值，计算该工作双球杆的一中心距离，且依据该热误差位移补偿该中心距离。/n
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