[发明专利]一种电子枪及应用于其的电子束选区熔化装置在审
| 申请号： | 201611092584.5 | 申请日： | 2016-12-01 |
| 公开（公告）号： | CN106783479A | 公开（公告）日： | 2017-05-31 |
| 发明（设计）人： | 郭光耀 | 申请（专利权）人： | 西安智熔金属打印系统有限公司 |
| 主分类号： | H01J29/48 | 分类号： | H01J29/48;B22F3/105;B33Y30/00 |
| 代理公司： | 深圳市科进知识产权代理事务所(普通合伙)44316 | 代理人： | 赵勍毅 |
| 地址： | 710000 陕西省西安市高新*** | 国省代码： | 陕西;61 |
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| 摘要： | 本发明提供一种电子枪，其包括阴极单元、阳极单元、栅极单元和双聚焦线圈单元，所述阴极单元受热后逸出热电子，所述栅极单元用于汇聚所述热电子和控制穿过所述阳极单元的热电子数量，所述阳极单元设置于所述阴极单元下方，其中心开设有阳极中心孔，所述双聚焦线圈单元，用于对穿过所述阳极中心孔的热电子进行汇聚，所述双聚焦线圈单元包括一级磁聚焦线圈和二级磁聚焦线圈，所述一级磁聚焦线圈对穿过所述阳极中心孔的热电子进行首次汇聚，得到小会聚角电子束，所述二级磁聚焦线圈对所述小会聚角电子束进行二次聚焦，得到具有精细束斑直径的电子束。本发明还提供一种采用上述电子枪的电子束选区熔化装置。 | ||
| 搜索关键词： | 一种 电子枪 应用于 电子束 选区 熔化 装置 | ||
【主权项】：
一种电子枪，其特征在于，包括阴极单元、阳极单元、栅极单元和双聚焦线圈单元，所述阴极单元受热后逸出热电子；所述栅极单元，用于汇聚所述热电子和控制穿过所述阳极单元的热电子数量；所述阳极单元设置于所述阴极单元下方，其中心开设有阳极中心孔，所述阳极单元与所述阴极单元之间产生电位差，使所述栅极单元汇聚的热电子加速穿过所述阳极中心孔；所述双聚焦线圈单元，用于对穿过所述阳极中心孔的热电子进行汇聚，所述双聚焦线圈单元包括一级磁聚焦线圈和二级磁聚焦线圈，所述一级磁聚焦线圈对穿过所述阳极中心孔的热电子进行首次汇聚，得到小会聚角电子束，所述二级磁聚焦线圈对所述小会聚角电子束进行二次聚焦，得到具有精细束斑直径的电子束。
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