[发明专利]化学机械抛光机及用于其的抛光组件

摘要

本发明公开了一种化学机械抛光机及用于其的抛光组件，所述抛光组件包括下支架、上支架、驱动转塔和两个抛光头组件，下支架上设有工作台和抛光盘；上支架架设在下支架上；驱动转塔悬挂在上支架上且驱动转塔的至少一部分相对于下支架可枢转；两个抛光组件分别设在驱动转塔上，以在驱动转塔的枢转下在与工作台位置对应的装卸位置和与抛光盘位置对应的抛光位置之间可移动，其中，当两个抛光头组件中的其中一个位于装卸位置时，另一个位于抛光位置。根据本发明实施例的用于化学机械抛光机的抛光组件，一个抛光头组件进行抛光时，另一个抛光头组件可以执行装卸晶圆，两个抛光头组件可以交替抛光，从而可以持续不间断工作，进而可以提高工作效率。

主权项

一种用于化学机械抛光机的抛光组件，其特征在于，包括：下支架，所述下支架上设有工作台和抛光盘；上支架，所述上支架架设在所述下支架上；驱动转塔，所述驱动转塔悬挂在所述上支架上且所述驱动转塔的至少一部分相对于所述下支架可枢转；用于装卸晶圆和夹持晶圆进行抛光的两个抛光头组件，两个所述抛光组件分别设在所述驱动转塔上，以在所述驱动转塔的枢转下在与所述工作台位置对应的装卸位置和与所述抛光盘位置对应的抛光位置之间可移动，其中，当两个抛光头组件中的其中一个位于装卸位置时，两个所述抛光头组件中的其中另一个位于所述抛光位置。