[发明专利]一种利用室温转移压印技术制备无残留层的二氧化钛图案的方法有效

专利信息
申请号: 201611093131.4 申请日: 2016-12-02
公开(公告)号: CN106773529B 公开(公告)日: 2019-12-13
发明(设计)人: 石刚;车友新;李赢;王大伟;倪才华;王利魁;桑欣欣 申请(专利权)人: 江南大学
主分类号: G03F7/00 分类号: G03F7/00
代理公司: 32257 苏州市中南伟业知识产权代理事务所(普通合伙) 代理人: 殷海霞
地址: 214122 江苏*** 国省代码: 江苏;32
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摘要: 发明涉及一种利用室温转移压印技术制备无残留层的二氧化钛图案的方法,(1)将热塑性聚合物溶液与二氧化钛溶胶或钛盐溶液进行混合配制成前驱液;(2)然后将步前驱液旋涂或喷涂在表面具有凸凹结构的软模板表面,形成复合膜;(3)然后在室温下将步骤(2)得到的软模板与亲水基底接触,将复合膜转移到基底表面;(4)然后将步骤(3)得到的样品煅烧,冷却至室温;(5)最后将步骤(4)中得到的样品置于钛盐、浓盐酸和水的混合溶液中,水热条件下,在基底表面形成无残留层的二氧化钛图案。本发明涉及材料微纳加工技术领域,可以利用室温转移压印技术在平面和曲面基底制备无残留层二氧化钛图案。
搜索关键词: 一种 利用 室温 转移 压印 技术 制备 残留 氧化 图案 方法
【主权项】:
1.一种利用室温转移压印技术制备无残留层的二氧化钛图案的方法,其特征是,包括以下步骤:/n(1)首先通过超声和加热,将热塑性聚合物溶液与二氧化钛溶胶或钛盐溶液进行混合配制成前驱液;/n(2)然后将步骤(1)得到的前驱液旋涂或喷涂在表面具有凸凹结构的软模板表面,形成复合膜;/n(3)然后在室温下将步骤(2)得到的表面附有复合膜的软模板与亲水基底接触,经过5~600s后,将软模板从基底表面分离开,软模板表面的复合膜转移到基底表面;/n(4)然后将步骤(3)得到表面附有复合膜的基底进行煅烧,煅烧后冷却至室温;/n(5)最后将步骤(4)中煅烧后得到的样品置于钛盐、浓盐酸和水的混合溶液中,水热条件下,在基底表面形成无残留层的TiO
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