[发明专利]一种基于静电感应原理的非接触式MEMS自激励静场电探测系统及其探测方法在审
| 申请号： | 201611095163.8 | 申请日： | 2016-12-02 |
| 公开（公告）号： | CN107329004A | 公开（公告）日： | 2017-11-07 |
| 发明（设计）人： | 冯跃;于泽杰;韩炎晖;唐绪松 | 申请（专利权）人： | 北京理工大学 |
| 主分类号： | G01R29/12 | 分类号： | G01R29/12 |
| 代理公司： | 北京君尚知识产权代理事务所(普通合伙)11200 | 代理人： | 邱晓锋 |
| 地址： | 100081 *** | 国省代码： | 北京;11 |
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| 摘要： | 本发明提供了一种基于静电感应原理的非接触式MEMS自激励静电场探测系统及其探测方法。该系统包括静电传感器、放大电路、滤波电路、微控制器、显示装置；静电传感器包括自驱动单元和静电感应探针组成，其中自驱动单元为一并行放置的图形化压电驱动薄膜和图形化压电感应薄膜构成的自驱动自反馈模块，静电感应探针为一图形化金属电极层，静电感应探针与后端放大电路相连，微控制器用于处理电信号并控制显示装置输出测量结果。相比现有旋叶式静电探测系统的大体积、现有振动式探测系统的低敏感度、低精度，本发明具有自激励、灵敏度高、集成度高、线性度高、体积微小等特点；可广泛应用于静电探测和静电防护等领域中。 | ||
| 搜索关键词： | 一种 基于 静电感应 原理 接触 mems 激励 静场 探测 系统 及其 方法 | ||
【主权项】：
一种静电传感器，其特征在于，包括自驱动单元和静电感应探针，所述自驱动单元与所述静电感应探针相连；所述自驱动单元包括压电驱动薄膜和压电感应薄膜，所述压电驱动薄膜与所述压电感应薄膜之间电连接。
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