[发明专利]一种基于多场耦合的铁电材料减薄加工方法在审
| 申请号： | 201611096371.X | 申请日： | 2016-12-02 |
| 公开（公告）号： | CN106736937A | 公开（公告）日： | 2017-05-31 |
| 发明（设计）人： | 杭伟;周立波;袁巨龙;赵军;吕冰海;邓乾发 | 申请（专利权）人： | 浙江工业大学 |
| 主分类号： | B24B7/22 | 分类号： | B24B7/22;B24B1/00;B24B41/06;B24D7/06 |
| 代理公司： | 杭州斯可睿专利事务所有限公司33241 | 代理人： | 王利强 |
| 地址： | 310014 浙江省*** | 国省代码： | 浙江;33 |
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| 摘要： | 一种基于多场耦合的铁电材料减薄加工方法，铁电材料表面减薄加工时施加反向电场，反向热场和化学场多场耦合作用，所述方法包括以下步骤(1)表面加工铁电材料，砂轮以ns的转速，f的进给速度对铁电材料进行加工，铁电材料的转速是nw；(2)加工时施加反向电场，反向热场和化学场，电场，热场和化学场交互作用。本发明提供一种提高加工效率的基于多场耦合的铁电材料减薄加工方法。 | ||
| 搜索关键词： | 一种 基于 耦合 材料 加工 方法 | ||
【主权项】：
一种基于多场耦合的铁电材料减薄加工方法，其特征在于：铁电材料表面减薄加工时施加反向电场，反向热场和化学场多场耦合作用，所述方法包括以下步骤：(1)表面加工铁电材料，砂轮以ns的转速，f的进给速度对铁电材料进行加工，铁电材料的转速是nw；(2)加工时施加反向电场，反向热场和化学场，电场，热场和化学场交互作用。
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