[发明专利]一种可编程熔丝结构有效
| 申请号： | 201611096971.6 | 申请日： | 2016-12-02 |
| 公开（公告）号： | CN106531718B | 公开（公告）日： | 2019-02-05 |
| 发明（设计）人： | 王浩 | 申请（专利权）人： | 南通壹选工业设计有限公司 |
| 主分类号： | H01L23/525 | 分类号： | H01L23/525 |
| 代理公司： | 北京集智东方知识产权代理有限公司 11578 | 代理人： | 张红;程立民 |
| 地址： | 226600 江苏*** | 国省代码： | 江苏;32 |
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| 摘要： | 本发明提供了一种可编程熔丝结构，包括：衬底；在所述衬底上表面的浅沟槽隔离结构，所述浅沟槽隔离结构的顶面高于所述衬底的上表面；位于浅沟槽隔离结构中的一可编程熔丝，所述可编程熔丝包括两第一电极、分别连接两第一电极的两个第一垂直部分以及连接两个第一垂直部分的第一水平部分；其中，两第一电极位于所述浅沟槽隔离结构的上表面的两端，两个第一垂直部分沿着所述浅沟槽隔离结构的深度方向具有第一长度，所述第一水平部分被浅沟槽隔离结构的隔离材料覆盖，且在所述浅沟槽隔离结构中具有第一深度。 | ||
| 搜索关键词： | 一种 可编程 结构 | ||
【主权项】：
1.一种可编程熔丝结构，包括：衬底；在所述衬底上表面的浅沟槽隔离结构，所述浅沟槽隔离结构的顶面高于所述衬底的上表面；位于浅沟槽隔离结构中的一可编程熔丝，所述可编程熔丝包括两第一电极、分别连接两第一电极的两个第一垂直部分以及连接两个第一垂直部分的第一水平部分；其中，两第一电极位于所述浅沟槽隔离结构的上表面的两端，两个第一垂直部分沿着所述浅沟槽隔离结构的深度方向具有第一长度，所述第一水平部分被浅沟槽隔离结构的隔离材料覆盖，且在所述浅沟槽隔离结构中具有第一深度；所述浅沟槽隔离结构中还包括另一可编程熔丝结构。
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