[发明专利]一种高纯金属溅射靶材的表面处理方法

摘要

本发明属于靶材制备加工技术领域，具体涉及一种高纯金属溅射靶材的表面处理方法。靶材经表面精密机加工、表面研磨、表面清洗后，采用连续波激光热处理法、扫描电子束法或非相干宽带频光源法对靶材表面快速热处理，通过快速热处理的肌肤效应，使靶材表面硬化层发生再结晶，消除硬化层中的应力和位错，得到与基体基本一致的再结晶组织。该方法工艺简单、速度快、通用性高、适用于不同尺寸靶材、制备过程中材料无污染、材料损耗小，且该法绿色环保。 1

主权项

1.一种高纯金属溅射靶材的表面处理方法，其特征在于，包括如下步骤：1)靶材进行表面精密机加工；2)步骤1)所得靶材进行表面研磨，然后对表面进行清洗；3)步骤2)所得靶材在真空条件下进行表面快速热处理；所述表面快速热处理采用连续波激光热处理法、扫描电子束法或非相干宽带频光源法；所述连续波激光热处理法的激光功率为1～3kW，激光散焦距离为20～50mm，光斑直径为10～50mm，扫描速度为10～50mm/s，加热的温度为350～450℃；所述扫描电子束法的电子束斑功率密度为1～3kW/cm2，扫描速度为10～50mm/s，加热速度为100～200℃/s，加热的温度为350～450℃；所述非相干宽带频光源法的加热速度为50～100℃/s，加热的温度为350～450℃，保温时间为1～10min。