[发明专利]阻气叠层、半导体装置、显示元件、显示装置和系统在审
申请号: | 201611103021.1 | 申请日: | 2016-12-05 |
公开(公告)号: | CN107017308A | 公开(公告)日: | 2017-08-04 |
发明(设计)人: | 新江定宪;植田尚之;中村有希;安部由希子;松本真二;曾根雄司;早乙女辽一;草柳岭秀 | 申请(专利权)人: | 株式会社理光 |
主分类号: | H01L29/786 | 分类号: | H01L29/786 |
代理公司: | 北京市柳沈律师事务所11105 | 代理人: | 王增强 |
地址: | 日本*** | 国省代码: | 暂无信息 |
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摘要: | 一种阻气叠层,包括基板和形成在基板的表面中的至少一个上的阻挡层。阻挡层包括含硅和碱土金属的复合氧化物。 | ||
搜索关键词: | 阻气叠层 半导体 装置 显示 元件 显示装置 系统 | ||
【主权项】:
一种阻气叠层,该阻气叠层包括:基板;以及形成在基板的表面中的至少一个上的阻挡层,该阻挡层包括含硅和碱土金属的复合氧化物。
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