[发明专利]靶材组件的制造方法在审
| 申请号： | 201611104314.1 | 申请日： | 2016-12-05 |
| 公开（公告）号： | CN108149203A | 公开（公告）日： | 2018-06-12 |
| 发明（设计）人： | 姚力军;潘杰;相原俊夫;王学泽;段高林 | 申请（专利权）人： | 宁波江丰电子材料股份有限公司 |
| 主分类号： | C23C14/34 | 分类号： | C23C14/34 |
| 代理公司： | 北京集佳知识产权代理有限公司 11227 | 代理人： | 高静;吴敏 |
| 地址： | 315400 浙江省宁波*** | 国省代码： | 浙江;33 |
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| 摘要： | 本发明提供一种靶材组件的制造方法，包括：提供钼铌靶坯和背板，钼铌靶坯的待焊接面为第一焊接面，背板的待焊接面为第二焊接面；对第一焊接面进行表面喷砂处理；在表面喷砂处理后的第一焊接面上涂覆第一焊料层；在第二焊接面上涂覆第二焊料层；将涂覆有第一焊料层的第一焊接面与涂覆有第二焊料层的第二焊接面相对设置并贴合，通过焊接工艺将钼铌靶坯焊接至背板上以形成靶材组件。本发明在表面喷砂处理后在第一焊接面上涂覆第一焊料层，喷砂处理可以提高第一焊接面的粗糙度，从而提高第一焊料层在钼铌靶坯上的浸润性，进而提高后续钼铌靶坯和背板的焊接结构率，使钼铌靶坯和背板的焊接结构率可以达到95％及以上。 | ||
| 搜索关键词： | 焊接面 焊料层 铌靶 背板 涂覆 焊接 靶材组件 表面喷砂 焊接结构 焊接工艺 喷砂处理 相对设置 粗糙度 浸润性 贴合 制造 | ||
【主权项】：
一种靶材组件的制造方法，其特征在于，包括：提供钼铌靶坯和背板，所述钼铌靶坯的待焊接面为第一焊接面，所述背板的待焊接面为第二焊接面；对所述第一焊接面进行表面喷砂处理；对所述第一焊接面进行表面喷砂处理后，在所述第一焊接面上涂覆第一焊料层；在所述第二焊接面上涂覆第二焊料层；将涂覆有所述第一焊料层的第一焊接面与涂覆有所述第二焊料层的所述第二焊接面相对设置并贴合，通过焊接工艺将所述钼铌靶坯焊接至所述背板上，以形成靶材组件。
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