[发明专利]一种阀头、平行误差自动补偿装置及电镜有效
| 申请号： | 201611104965.0 | 申请日： | 2016-12-05 |
| 公开（公告）号： | CN106595439B | 公开（公告）日： | 2019-10-25 |
| 发明（设计）人： | 孟祥良;孙占峰 | 申请（专利权）人： | 北京中科科仪股份有限公司 |
| 主分类号： | G01B5/24 | 分类号： | G01B5/24;F16J15/00 |
| 代理公司： | 北京三聚阳光知识产权代理有限公司 11250 | 代理人： | 周美华 |
| 地址： | 100190 北*** | 国省代码： | 北京;11 |
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| 摘要： | 一种阀头、平行误差自动补偿装置及电镜，阀头包括活动件以及活动件支撑装置，该活动件具有与固定件的第一密封平面配合的第二密封平面，所述活动件背向所述固定件的一侧设有第一容纳槽；活动件支撑装置具有适于嵌入所述第一容纳槽的球面，所述球面与所述第一容纳槽的槽底保持点接触，并且与所述第一容纳槽的槽壁保持线接触，用于在背对所述固定件的方向上支撑所述活动件相对所述固定件浮动。本发明提供的阀头，加工难度低，调节灵敏度高，能够消除两个平面各个方向上的平行度误差，从而使两个密封平面充分贴合，具有该阀头的平行误差自动补偿装置，及具有该补偿装置的电镜能够保证密封的重复度。 | ||
| 搜索关键词： | 一种 平行 误差 自动 补偿 装置 | ||
【主权项】：
1.一种阀头，其特征在于，包括：活动件(2)，具有与固定件(1)的第一密封平面(11)配合的第二密封平面(21)，所述活动件(2)背向所述固定件(1)的一侧设有第一容纳槽(23)；活动件支撑装置(3)，具有适于嵌入所述第一容纳槽(23)的球面，所述球面与所述第一容纳槽(23)的槽底保持点接触，并且与所述第一容纳槽(23)的槽壁保持线接触，用于在背对所述固定件(1)的方向上支撑所述活动件(2)相对所述固定件(1)浮动；还包括在所述活动件(2)背对所述固定件(1)一侧施加弹性力的弹性偏压件(5)，通过所述弹性偏压件(5)的弹性力能够使得所述活动件(2)相对所述固定件(1)实现弹性浮动。
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