[发明专利]长寿命的环件结构有效
| 申请号： | 201611106170.3 | 申请日： | 2016-12-05 |
| 公开（公告）号： | CN108149204B | 公开（公告）日： | 2020-03-10 |
| 发明（设计）人： | 姚力军;潘杰;相原俊夫;王学泽;刘霞 | 申请（专利权）人： | 宁波江丰电子材料股份有限公司 |
| 主分类号： | C23C14/34 | 分类号： | C23C14/34 |
| 代理公司： | 北京集佳知识产权代理有限公司 11227 | 代理人： | 高静;吴敏 |
| 地址： | 315400 浙江省宁波*** | 国省代码： | 浙江;33 |
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| 摘要： | 本发明提供一种长寿命的环件结构，安装于溅射设备内且环绕溅射靶材，包括：环件本体，包括朝向溅射靶材的内壁以及与内壁相对的外壁；固定于外壁上的安装配件，用于将环件本体安装于溅射设备内，安装配件包括连接部，连接部用于固定于溅射设备内。本发明环件结构包括固定于环件本体外壁上的安装配件，安装配件包括连接部，用于固定于溅射设备内，从而将环件本体安装于溅射设备内；相比通过贯穿环件本体的连接部以实现固定作用的安装配件，本发明安装配件不仅可以起到固定作用，而且由于连接部未凸出于环件本体内壁，因此连接部未暴露于溅射环境中，即不参与溅射工艺，从而可以避免溅射工艺过程中所述连接部的损耗，进而延长环件结构的使用寿命。 | ||
| 搜索关键词： | 寿命 结构 | ||
【主权项】：
一种长寿命的环件结构，安装于溅射设备内且环绕溅射靶材，其特征在于，包括：环件本体，包括朝向所述溅射靶材的内壁以及与所述内壁相对的外壁；固定于所述外壁上的安装配件，用于将所述环件本体安装于所述溅射设备内，所述安装配件包括连接部，所述连接部用于固定于所述溅射设备内。
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