[发明专利]一种蓝宝石晶棒检测装置

摘要

本发明适用于晶棒检测技术领域，提供了一种蓝宝石晶棒检测装置，包括外容器、晶棒台、镜头、第一CCD相机单元；所述晶棒台作为载物台贯穿所述外容器的底端，所述晶棒台为中空且上端为透明状，内嵌有平行光源及起偏镜，待检测蓝宝石晶棒置于所述晶棒台上；所述镜头固定在所述外容器上方，所述镜头底端设置有检偏镜；带有检偏镜的所述镜头用于采集经过所述蓝宝石晶棒的偏振光，得到包含有蓝宝石晶棒的应力和晶界形状的图像信息；第一CCD相机单元设置于所述外容器四周，用于通过沿外容器的高度方向运动来扫描所述蓝宝石晶棒，得到包含有蓝宝石晶棒的气泡的图像信息。本发明提供的检测装置减少了人为因素对检测结果的影响，提高了工作效率。

主权项

一种蓝宝石晶棒检测装置，其特征在于，包括：外容器、晶棒台、镜头、第一CCD相机单元；所述晶棒台作为载物台贯穿所述外容器的底端，所述晶棒台为中空且与待检测蓝宝石晶棒接触面为透明状，内嵌有平行光源及沿所述平行光源发出的平行光方向的起偏镜，待检测蓝宝石晶棒置于所述晶棒台上；所述镜头固定在所述外容器上方，所述镜头内部设置有激光器，所述镜头底端设置有检偏镜；所述平行光源发出的光经过所述起偏镜成为偏振光，所述偏振光照射到所述待检测蓝宝石晶棒上，带有检偏镜的所述镜头用于采集经过所述蓝宝石晶棒的偏振光，得到包含有所述蓝宝石晶棒的应力和晶界形状的图像信息；所述第一CCD相机单元设置于所述外容器四周，所述外容器四周安装有移动装置，可通过所述移动装置带动所述第一CCD相机单元同时沿所述外容器的高度方向运动；所述镜头内置的激光器发射出预置波长的激光，照射到所述待检测蓝宝石晶棒上，所述第一CCD相机单元用于通过沿所述外容器的高度方向运动来扫描所述蓝宝石晶棒，得到包含有所述蓝宝石晶棒的气泡的图像信息。