[发明专利]一种测量离子推力器内部沉积溅射的方法有效
| 申请号： | 201611117629.X | 申请日： | 2016-12-07 |
| 公开（公告）号： | CN106768033B | 公开（公告）日： | 2020-06-12 |
| 发明（设计）人： | 王蒙;顾左;郭宁;梁凯;刘兴旺;汪忠 | 申请（专利权）人： | 兰州空间技术物理研究所 |
| 主分类号： | G01D21/02 | 分类号： | G01D21/02 |
| 代理公司： | 甘肃省知识产权事务中心 62100 | 代理人： | 马英 |
| 地址： | 730000 甘*** | 国省代码： | 甘肃;62 |
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| 摘要： | 一种测量离子推力器内部沉积溅射的方法，步骤为：1、将离子推力器安装在真空系统内，将用覆盖物遮蔽半边的盖片安装在离子推力器内部的指定位置；2、离子推力器累积引束流工作至少100h；3、离子推力器停止点火开启真空舱，将盖片取下，剥离覆盖的保护装置；4、利用台阶仪或三维轮廓仪，量取盖片两边的厚度差；根据推力器点火时间计算出单位时间的真空罐体的溅射速率和溅射物质的分布区域，利用X射线光电子能谱分析或能谱分析仪进行成分检测,以确定溅射物质的来源。本发明判定出离子推力器内部不同位置沉积物的溅射来源，半定量分析出核心部件的溅射产额及磨损速率，用于验证离子推力器放电室的溅射模型，也可进行离子推力器连续工作情况下的寿命估计。 | ||
| 搜索关键词： | 一种 测量 离子 推力 内部 沉积 溅射 方法 | ||
【主权项】：
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