[发明专利]一种三维结构高效有机薄膜传感器器件的制备方法在审
| 申请号： | 201611125633.0 | 申请日： | 2016-12-09 |
| 公开（公告）号： | CN106596653A | 公开（公告）日： | 2017-04-26 |
| 发明（设计）人： | 王丽娟;孙洋;闫闯;张梁;孙丽晶;尹丽;张国军;唐甜甜 | 申请（专利权）人： | 长春工业大学 |
| 主分类号： | G01N27/12 | 分类号： | G01N27/12;B82Y30/00;B82Y40/00;B32B3/08;B32B9/00;B32B9/04;B32B27/06;B32B27/36 |
| 代理公司： | 暂无信息 | 代理人： | 暂无信息 |
| 地址： | 130012 吉林*** | 国省代码： | 吉林;22 |
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| 摘要： | 本发明是一种三维结构高效有机薄膜传感器器件的制备方法，用覆盖氮化硅（Si3N4）绝缘层的PET作柔性衬底，用六联苯（p‑6P）薄膜做诱导层，在诱导层上采用双源同时真空沉积共生长六噻吩（α‑6T）和酞菁铜（CuPc）薄膜，构成共生长有机半导体层，然后真空蒸镀铝叉指电极构成三维结构高效有机薄膜传感器。一方面，由于酞菁铜（CuPc）填补了六噻吩（α‑6T）薄膜的空隙从而增大了薄膜的连续性和完整性；另一方面，由于六噻吩（α‑6T）三维生长特点，α‑6T薄膜部分是一种三维立体结构，测试气体可以与α‑6T薄膜的多个侧面反应，提高了有机薄膜传感器的灵敏度和响应度。 | ||
| 搜索关键词： | 一种 三维 结构 高效 有机 薄膜 传感器 器件 制备 方法 | ||
【主权项】：
一种三维结构高效有机薄膜传感器的制备方法包括：PET柔性衬底（1），绝缘层（2），六联苯诱导层（3），共生长有机半导体层（4），铝叉指电极（5），共生长有机半导体层（4）由六噻吩（α‑6T）薄膜（6）、α‑6T缝隙间的酞菁铜（CuPc）薄膜（7）以及被CuPc覆盖的α‑6T薄膜（8）构成三维立体结构。
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