[发明专利]化学放大型光致抗蚀剂组合物及其使用方法在审
| 申请号： | 201611129943.X | 申请日： | 2010-08-03 |
| 公开（公告）号： | CN106980235A | 公开（公告）日： | 2017-07-25 |
| 发明（设计）人： | R·A·迪佩托;R·D·艾伦;P·J·布罗克;H·特鲁昂 | 申请（专利权）人： | 国际商业机器公司 |
| 主分类号： | G03F7/039 | 分类号： | G03F7/039 |
| 代理公司： | 北京市金杜律师事务所11256 | 代理人： | 陈长会,马慧 |
| 地址： | 美国纽*** | 国省代码： | 暂无信息 |
| 权利要求书： | 暂无信息 | 说明书： | 暂无信息 |
| 摘要： | 本发明涉及化学放大型光致抗蚀剂组合物及其使用方法。光致抗蚀剂组合物包含酚醛聚合物与无含醚部分和/或含羧酸部分的(甲基)丙烯酸酯基共聚物的掺合物及光酸产生剂。该(甲基)丙烯酸酯共聚物包含第一单体，其选自由以下各物组成的组丙烯酸烷基酯、取代的丙烯酸烷基酯、(甲基)丙烯酸烷基酯、取代的甲基丙烯酸烷基酯及其混合物；和第二单体，其选自由以下各物组成的组丙烯酸酯、(甲基)丙烯酸酯或其混合物，该第二单体具有酸可裂解的酯取代基。本文也公开利用该光致抗蚀剂组合物在基板上生成光致抗蚀剂图像的方法。 | ||
| 搜索关键词： | 化学 大型 光致抗蚀剂 组合 及其 使用方法 | ||
【主权项】：
一种光致抗蚀剂组合物，其包含：酚醛聚合物与无含醚部分且无含羧酸部分的(甲基)丙烯酸酯基共聚物的掺合物，该(甲基)丙烯酸酯基共聚物由i)第一单体和ii)第二单体组成，所述第一单体选自由以下各物组成的组：丙烯酸烷基酯、取代的丙烯酸烷基酯、甲基丙烯酸烷基酯、取代的甲基丙烯酸烷基酯及其混合物，所述第二单体选自由以下各物组成的组：(甲基)丙烯酸1‑甲基环戊酯、(甲基)丙烯酸1‑乙基环戊酯、(甲基)丙烯酸1‑乙基环己酯、(甲基)丙烯酸1‑乙基环庚酯、(甲基)丙烯酸1‑乙基环辛酯、(甲基)丙烯酸1‑乙基‑2‑甲氧基环己酯、(甲基)丙烯酸1‑丁基环己酯、(甲基)丙烯酸1‑丁基‑2‑甲氧基环己酯、(甲基)丙烯酸1‑环戊基环戊酯、(甲基)丙烯酸1‑异丙基环庚酯、(甲基)丙烯酸2,5‑二甲基‑1‑甲基环己酯及其混合物；及光酸产生剂，其中所述取代的丙烯酸烷基酯或该取代的甲基丙烯酸烷基酯具有含C4‑C20内酯的取代基；并且所述丙烯酸烷基酯和甲基丙烯酸烷基酯为甲酯或乙酯；其中以组合物的固体的总重量计，所述(甲基)丙烯酸酯基共聚物为5至少于50重量份，酚醛聚合物大于50重量份至95重量份，且光酸产生剂为0.1至20重量份。
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