[发明专利]一种基于电子束枪的感应炉熔硅起炉装置及工艺

摘要

本发明公开了一种基于电子束枪的感应炉熔硅起炉装置及工艺，包括感应炉，在感应炉的空腔内设置有线圈，在线圈内侧设置有线圈胶泥层，在线圈胶泥层内侧填筑夯实形成有内衬层，在感应炉顶部至少设置有一个或一个以上的电子束枪。本发明通过在感应炉上配置一个或者多个的电子束枪，利用电子束枪的集中加热方式对感应炉内的硅粉进行加热，当加热形成部分硅液的时候，启动感应炉，利用硅液的弱导电性进行感应加热，从而熔化更多的硅液，在电子束枪和感应炉的配合作用下，可以短时间内高效地熔化硅块，完成硅液熔炼的起炉步骤，实现利用感应炉来进行硅熔炼的目的。

主权项

一种基于电子束枪的感应炉熔硅起炉装置，包括感应炉(1)，在感应炉(1)的空腔内设置有线圈(2)，其特征在于：在线圈(2)内侧设置有线圈胶泥层(3)，在线圈胶泥层(3)内侧填筑夯实形成有内衬层(4)，在感应炉(1)顶部至少设置有一个或一个以上的电子束枪(5)。