[发明专利]一种喷嘴挡板及蒸镀装置有效
申请号: | 201611132190.8 | 申请日: | 2016-12-09 |
公开(公告)号: | CN106637088B | 公开(公告)日: | 2019-05-24 |
发明(设计)人: | 苏志玮 | 申请(专利权)人: | 合肥鑫晟光电科技有限公司;京东方科技集团股份有限公司 |
主分类号: | C23C14/24 | 分类号: | C23C14/24;C23C14/12 |
代理公司: | 北京同达信恒知识产权代理有限公司 11291 | 代理人: | 黄志华 |
地址: | 230011 *** | 国省代码: | 安徽;34 |
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摘要: | 本发明涉及显示装置制作技术领域,公开了一种喷嘴挡板及蒸镀装置,以改善喷嘴处蒸气分子的堆积现象,减少喷嘴堵塞,提高蒸镀装置的工作效率,节约蒸镀材料。本发明实施例的喷嘴挡板包括:板状本体,具有多个开口;对应板状本体的每个开口设置的导流板,所述导流板与板状本体连接,用于将蒸镀材料的蒸气分子导至喷嘴的蒸镀范围之外。 | ||
搜索关键词: | 板状本体 喷嘴挡板 蒸镀装置 蒸镀材料 蒸气分子 喷嘴 导流板 工作效率 开口设置 喷嘴堵塞 显示装置 蒸镀 堆积 开口 节约 制作 | ||
【主权项】:
1.一种喷嘴挡板,其特征在于,包括:板状本体,具有多个开口;对应板状本体的每个开口设置的导流板,所述导流板与板状本体连接,用于将蒸镀材料的蒸气分子导至喷嘴的蒸镀范围之外;所述导流板的末端具有水平导流檐;所述导流板在所述板状本体表面的投影覆盖对应的所述开口。
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