[发明专利]一种真空镀膜衬底底座有效
| 申请号： | 201611136440.5 | 申请日： | 2016-12-12 |
| 公开（公告）号： | CN107058966B | 公开（公告）日： | 2019-10-15 |
| 发明（设计）人： | 冯斌;任高潮;顾为民;金浩;王德苗 | 申请（专利权）人： | 苏州求是真空电子有限公司 |
| 主分类号： | C23C14/50 | 分类号： | C23C14/50 |
| 代理公司： | 南京纵横知识产权代理有限公司 32224 | 代理人： | 董建林 |
| 地址： | 215300 江苏省苏*** | 国省代码： | 江苏;32 |
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| 摘要： | 本发明公开了一种真空镀膜衬底底座，包括衬底托盘、转轴和传动轴，所述传动轴与旋转机构连接，所述衬底托盘通过设置于中心处的转轴与传动轴相连，所述衬底托盘底部设置有以托盘中心为圆心的圆环形凹槽，所述衬底托盘底部还设置有角度调节杆，所述角度调节杆一端固定在设备底座上，另一端为接触球端，所述接触球端可在圆环形凹槽内滑动。本发明可以实现衬底底座的简单的类行星式转动，以使衬底底座在加工过程中能够旋转、翻转，达到改善真空镀膜工艺对非平面结构的台阶覆盖率，尤其是深孔镀膜情况下的改善深孔内壁膜厚均匀性。 | ||
| 搜索关键词： | 衬底 托盘 底座 传动轴 角度调节杆 圆环形凹槽 真空镀膜 接触球 转轴 真空镀膜工艺 非平面结构 膜厚均匀性 台阶覆盖率 行星式转动 设备底座 深孔内壁 托盘中心 旋转机构 圆心 中心处 翻转 滑动 镀膜 深孔 | ||
【主权项】：
1.一种真空镀膜衬底底座，其特征在于，包括衬底托盘、转轴和传动轴，所述传动轴与旋转机构连接，所述衬底托盘通过设置于中心处的转轴与传动轴相连，所述衬底托盘底部设置有以托盘中心为圆心的圆环形凹槽，所述衬底托盘底部还设置有角度调节杆，所述角度调节杆一端固定在设备底座上，另一端为接触球端，所述接触球端可在圆环形凹槽内滑动，所述传动轴包括旋转机构连接轴和关节盖帽，所述旋转机构连接轴的末端为关节球体，所述关节球体被球关节盖帽包合，所述球关节盖帽与转轴相连。
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