[发明专利]气体浓度分析系统在审
| 申请号： | 201611140810.2 | 申请日： | 2016-12-12 |
| 公开（公告）号： | CN108614070A | 公开（公告）日： | 2018-10-02 |
| 发明（设计）人： | 庄集尧;吴柄村 | 申请（专利权）人： | 毅泰成科技股份有限公司 |
| 主分类号： | G01N33/00 | 分类号： | G01N33/00 |
| 代理公司： | 上海专利商标事务所有限公司 31100 | 代理人： | 徐伟 |
| 地址： | 中国台湾新竹*** | 国省代码： | 中国台湾;71 |
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| 摘要： | 一种气体浓度分析系统，包含一气体感测装置、一压力侦测装置、一阀门感知器及一控制单元。气体感测装置侦测一腔体内的待测气体浓度，压力侦测装置连接至腔体以侦测腔体内的压力，阀门感知器侦测腔体的一阀门的开闭状态，且一控制单元，接收气体感测装置取得的气体浓度值、压力侦测装置取得的压力值及阀门感知器取得的阀门状态信号并进行运算，以获得于不同的真空压力范围下或不同腔体环境下的气体浓度指标。 | ||
| 搜索关键词： | 阀门 气体感测装置 压力侦测装置 感知器 侦测 气体浓度分析 腔体 体内 阀门状态信号 待测气体 开闭状态 浓度指标 腔体环境 真空压力 运算 | ||
【主权项】：
1.一种气体浓度分析系统，包含：一气体感测装置，侦测一腔体内的待测气体浓度；一压力侦测装置，连接至该腔体以侦测该腔体内的压力；一阀门感知器，侦测该腔体的一阀门的开闭状态；以及一控制单元，接收该气体感测装置取得的气体浓度值、压力侦测装置取得的压力值及阀门感知器取得的阀门状态信号并进行运算，以获得于不同的真空压力范围下或不同腔体环境下的气体浓度指标。
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