[发明专利]一种石墨烯晶体管结构在审
| 申请号： | 201611141257.4 | 申请日： | 2016-12-12 |
| 公开（公告）号： | CN106784004A | 公开（公告）日： | 2017-05-31 |
| 发明（设计）人： | 刘丽蓉;王勇;丁超 | 申请（专利权）人： | 东莞市广信知识产权服务有限公司;东莞华南设计创新院 |
| 主分类号： | H01L29/78 | 分类号： | H01L29/78;H01L29/10;H01L29/267 |
| 代理公司： | 深圳市智圈知识产权代理事务所(普通合伙)44351 | 代理人： | 韩绍君 |
| 地址： | 523000 广东省东莞市松山湖高新*** | 国省代码： | 广东;44 |
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| 摘要： | 本发明公布了一种石墨烯晶体管结构，其包括石墨烯与二硫化钼构成的异质结沟道层；采用二硫化钼构成的源漏外延层；在石墨烯层上沉积的HfAlON栅介质；HfAlON栅介质上的WSi栅金属；以及源漏外延层上的源漏金属。该晶体管结构应用高性能二维结构器件与电路。 | ||
| 搜索关键词： | 一种 石墨 晶体管 结构 | ||
【主权项】：
一种石墨烯晶体管结构，其包括一由石墨烯与二硫化钼构成的异质结沟道层；一由二硫化钼构成的源漏外延层；一在石墨烯沟道层上沉积的HfAlON栅介质；一在HfAlON栅介质上沉积的WSi栅金属；以及源漏外延层上的源漏金属。
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