[发明专利]一种柔性互连金属的制备方法有效
| 申请号： | 201611141945.0 | 申请日： | 2016-12-12 |
| 公开（公告）号： | CN106711085B | 公开（公告）日： | 2019-02-19 |
| 发明（设计）人： | 刘丽蓉;王勇;丁超 | 申请（专利权）人： | 东莞市广信知识产权服务有限公司;东莞华南设计创新院 |
| 主分类号： | H01L21/768 | 分类号： | H01L21/768 |
| 代理公司： | 深圳市智圈知识产权代理事务所(普通合伙) 44351 | 代理人： | 韩绍君 |
| 地址： | 523000 广东省东莞市松山湖高新*** | 国省代码： | 广东;44 |
| 权利要求书： | 查看更多 | 说明书： | 查看更多 |
| 摘要： | 本发明公布了一种柔性互连金属的制备方法，其步骤包括：第一步在基板上涂覆一层正胶，并进行光刻，光刻出凹凸不平的结构；第二步：溅射金属钛/金；第三步：在金属上涂覆AZ胶，光刻出互连金属线条；第四步：蒸发镍/金两层金属；第五步：剥离顶层光刻胶，形成有弯曲的互连金属。 | ||
| 搜索关键词： | 光刻 金属 互连金属 柔性互连 涂覆 制备 凹凸不平 光刻胶 金属钛 镍/金 顶层 基板 溅射 两层 正胶 蒸发 线条 剥离 | ||
【主权项】：
1.一种柔性互连金属的制造方法：其流程包括：(1)在柔性基板上涂覆一层正性光刻胶，光刻并定义出凹凸不平的结构；(2)在基板上溅射钛/金两层金属；(3)在钛/金金属上涂覆一层反转胶，光刻并定义出互联金属线条；(4)蒸发镍/金两层金属；(5)剥离顶层光刻胶，刻蚀底层钛/金金属层，采用丙酮清洗底层正性光刻胶，形成弯曲的互连金属。
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H01L21-00 专门适用于制造或处理半导体或固体器件或其部件的方法或设备
H01L21-02 .半导体器件或其部件的制造或处理
H01L21-64 .非专门适用于包含在H01L 31/00至H01L 51/00各组的单个器件所使用的除半导体器件之外的固体器件或其部件的制造或处理
H01L21-66 .在制造或处理过程中的测试或测量
H01L21-67 .专门适用于在制造或处理过程中处理半导体或电固体器件的装置；专门适合于在半导体或电固体器件或部件的制造或处理过程中处理晶片的装置
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