[发明专利]一种具有疏水性能的透明隔热薄膜及其制备方法有效
| 申请号： | 201611143540.0 | 申请日： | 2016-12-13 |
| 公开（公告）号： | CN106702322B | 公开（公告）日： | 2019-05-14 |
| 发明（设计）人： | 邓宏;程慧;王艳;汪逸俊;韦敏 | 申请（专利权）人： | 电子科技大学 |
| 主分类号： | C23C14/08 | 分类号： | C23C14/08;C23C14/35 |
| 代理公司： | 电子科技大学专利中心 51203 | 代理人： | 李明光 |
| 地址： | 611731 四川省成*** | 国省代码： | 四川;51 |
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| 摘要： | 本发明属于隔热节能薄膜技术领域，更具体的，涉及一种具有疏水性能的透明隔热薄膜及其制备方法，可用于车载透明窗户及建筑透明窗户等领域。本发明提供的薄膜制备于衬底上，由下至上依次为氧化锌薄膜、镓掺杂氧化锌薄膜；采用氧化锌作为缓冲层材料，减小镓掺杂氧化锌薄膜与衬底之间因晶格失配引起的应力，改善镓掺杂氧化锌薄膜的电学性能得到更好的近、中红外性能。利用氧化锌与镓掺杂氧化锌薄膜之间的晶格失配，致使镓掺杂氧化锌膜的生长过程中存在张应力，形成了覆盖整个镓掺杂氧化锌薄膜表面的具有纳米孔的柱状结构，为疏水的表面性能提供了适当的粗糙度，使薄膜具有良好的疏水性，提高薄膜的环境耐久性。 | ||
| 搜索关键词： | 镓掺杂氧化锌 薄膜 透明隔热薄膜 晶格失配 疏水性能 透明窗户 氧化锌 衬底 制备 薄膜技术领域 环境耐久性 缓冲层材料 氧化锌薄膜 薄膜表面 薄膜制备 表面性能 电学性能 隔热节能 红外性能 生长过程 柱状结构 粗糙度 纳米孔 疏水性 张应力 减小 可用 疏水 覆盖 | ||
【主权项】：
1.一种具有疏水性能的透明隔热薄膜，该薄膜制备于衬底上，其特征在于，由下至上依次为氧化锌薄膜、镓掺杂氧化锌薄膜；所述氧化锌薄膜的厚度为20～120nm；所述镓掺杂氧化锌薄膜厚度为1～2μm；所述镓掺杂氧化锌薄膜表面具有纳米孔的柱状结构。
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