[发明专利]一种单晶炉石英导流筒在审
申请号: | 201611143546.8 | 申请日: | 2016-12-13 |
公开(公告)号: | CN106521616A | 公开(公告)日: | 2017-03-22 |
发明(设计)人: | 洪亚丽;姜树炎 | 申请(专利权)人: | 宝鸡市宏佳有色金属加工有限公司 |
主分类号: | C30B15/00 | 分类号: | C30B15/00;C30B29/06 |
代理公司: | 深圳市深联知识产权代理事务所(普通合伙)44357 | 代理人: | 徐炫 |
地址: | 721000 陕西省宝*** | 国省代码: | 陕西;61 |
权利要求书: | 查看更多 | 说明书: | 查看更多 |
摘要: | 本发明公开了一种单晶炉石英导流筒,设有石英内筒和内筒支架,所述内筒支架设在所述石英内筒的外壁,所述石英内筒的内壁设有铱层,所述石英内筒与所述内筒支架之间设置有保温层;所述石英内筒为圆锥体,所述石英内筒的上端边缘设有裙边;所述石英内筒上下两端均设有一密封的凹台;所述石英内筒具有光滑内表面且四周无任何接痕;所述铱层设置于所述光滑内表面上;所述内筒支架为埚形,所述内筒支架的上下两端均具有一密封的凸台,所述凸台与所述凹台相匹配使所述石英内筒固定在所述内筒支架上;所述内筒支架的上端设有一小平面的轴肩;在单晶硅生长过程中,导流筒具有较高的强度与隔热性,在高温条件下具有较高的抗裂性和抗震性。 | ||
搜索关键词: | 一种 单晶炉 石英 导流 | ||
【主权项】:
一种单晶炉石英导流筒,其特征在于,设有石英内筒和内筒支架,所述内筒支架设在所述石英内筒的外壁,所述石英内筒的内壁设有铱层,所述石英内筒与所述内筒支架之间设置有保温层;所述石英内筒为圆锥体,所述石英内筒的上端边缘设有裙边;所述石英内筒上下两端均设有一密封的凹台;所述石英内筒具有光滑内表面且四周无任何接痕;所述铱层设置于所述光滑内表面上;所述内筒支架为埚形,所述内筒支架的上下两端均具有一密封的凸台,所述凸台与所述凹台相匹配使所述石英内筒固定在所述内筒支架上;所述内筒支架的上端设有一小平面的轴肩。
下载完整专利技术内容需要扣除积分,VIP会员可以免费下载。
该专利技术资料仅供研究查看技术是否侵权等信息,商用须获得专利权人授权。该专利全部权利属于宝鸡市宏佳有色金属加工有限公司,未经宝鸡市宏佳有色金属加工有限公司许可,擅自商用是侵权行为。如果您想购买此专利、获得商业授权和技术合作,请联系【客服】
本文链接:http://www.vipzhuanli.com/patent/201611143546.8/,转载请声明来源钻瓜专利网。
- 上一篇:一种基于VGF法的InP晶体生长炉
- 下一篇:一种钼导流筒及单晶炉