[发明专利]一种单晶炉石英导流筒在审

专利信息
申请号: 201611143546.8 申请日: 2016-12-13
公开(公告)号: CN106521616A 公开(公告)日: 2017-03-22
发明(设计)人: 洪亚丽;姜树炎 申请(专利权)人: 宝鸡市宏佳有色金属加工有限公司
主分类号: C30B15/00 分类号: C30B15/00;C30B29/06
代理公司: 深圳市深联知识产权代理事务所(普通合伙)44357 代理人: 徐炫
地址: 721000 陕西省宝*** 国省代码: 陕西;61
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摘要: 发明公开了一种单晶炉石英导流筒,设有石英内筒和内筒支架,所述内筒支架设在所述石英内筒的外壁,所述石英内筒的内壁设有铱层,所述石英内筒与所述内筒支架之间设置有保温层;所述石英内筒为圆锥体,所述石英内筒的上端边缘设有裙边;所述石英内筒上下两端均设有一密封的凹台;所述石英内筒具有光滑内表面且四周无任何接痕;所述铱层设置于所述光滑内表面上;所述内筒支架为埚形,所述内筒支架的上下两端均具有一密封的凸台,所述凸台与所述凹台相匹配使所述石英内筒固定在所述内筒支架上;所述内筒支架的上端设有一小平面的轴肩;在单晶硅生长过程中,导流筒具有较高的强度与隔热性,在高温条件下具有较高的抗裂性和抗震性。
搜索关键词: 一种 单晶炉 石英 导流
【主权项】:
一种单晶炉石英导流筒,其特征在于,设有石英内筒和内筒支架,所述内筒支架设在所述石英内筒的外壁,所述石英内筒的内壁设有铱层,所述石英内筒与所述内筒支架之间设置有保温层;所述石英内筒为圆锥体,所述石英内筒的上端边缘设有裙边;所述石英内筒上下两端均设有一密封的凹台;所述石英内筒具有光滑内表面且四周无任何接痕;所述铱层设置于所述光滑内表面上;所述内筒支架为埚形,所述内筒支架的上下两端均具有一密封的凸台,所述凸台与所述凹台相匹配使所述石英内筒固定在所述内筒支架上;所述内筒支架的上端设有一小平面的轴肩。
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