[发明专利]一种钼导流筒及单晶炉在审
申请号: | 201611143577.3 | 申请日: | 2016-12-13 |
公开(公告)号: | CN106521617A | 公开(公告)日: | 2017-03-22 |
发明(设计)人: | 洪亚丽;姜树炎 | 申请(专利权)人: | 宝鸡市宏佳有色金属加工有限公司 |
主分类号: | C30B15/00 | 分类号: | C30B15/00;C30B29/06 |
代理公司: | 深圳市深联知识产权代理事务所(普通合伙)44357 | 代理人: | 徐炫 |
地址: | 721000 陕西省宝*** | 国省代码: | 陕西;61 |
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摘要: | 本发明提供了一种钼导流筒,其包括钼内筒、保温层、钼外筒及安装定位环;所述钼内筒与所述钼外筒之间形成密封腔,所述保温层设置于所述密封腔中;所述钼内筒具有光滑内表面;所述钼外筒定位安装于所述安装定位环,用于通过所述安装定位环安装所述钼导流筒。采用上述方案,本发明通过对导流筒加工理念及材料的更换,在单晶硅生长过程中减少石墨材料中杂质对单晶硅棒的污染;改变了现有石墨材质导流筒在韧性上不足的特点,降低因导流筒碎裂、脱落而引起的热场损坏风险;容易加工,提升产品使用寿命;并且能够有效降低导流筒内表面的温度,隔断筒内外温度,为硅单晶的顺利生长提供一定的便利。 | ||
搜索关键词: | 一种 导流 单晶炉 | ||
【主权项】:
一种钼导流筒,其特征在于,其包括钼内筒、保温层、钼外筒及安装定位环;所述钼内筒与所述钼外筒之间形成密封腔,所述保温层设置于所述密封腔中;所述钼内筒具有光滑内表面;所述钼外筒定位安装于所述安装定位环,用于通过所述安装定位环安装所述钼导流筒。
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