[发明专利]移动体装置、曝光装置、平板显示器的制造方法和器件制造方法在审
| 申请号： | 201611143637.1 | 申请日： | 2013-08-05 |
| 公开（公告）号： | CN107015440A | 公开（公告）日： | 2017-08-04 |
| 发明（设计）人： | 青木保夫;原笃史 | 申请（专利权）人： | 株式会社尼康 |
| 主分类号： | G03F7/20 | 分类号： | G03F7/20 |
| 代理公司： | 北京三友知识产权代理有限公司11127 | 代理人： | 李辉,黄纶伟 |
| 地址： | 日本*** | 国省代码： | 暂无信息 |
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| 摘要： | 本发明提供移动体装置、曝光装置、平板显示器的制造方法和器件制造方法。曝光方法包含如下步骤使具有掩模图案的掩模(M)的上表面与掩模导流构件(40)的下表面相对；使掩模(M)以非接触方式悬垂支承在掩模导流构件(40)上；使掩模保持装置(60)保持悬垂支承在掩模导流构件(40)上的掩模(M)；使用掩模保持装置(60)，使掩模(M)在扫描方向上相对于曝光用照明光移动，并且，相对于曝光用照明光而在扫描方向上驱动作为曝光对象物体的基板，将掩模图案转印到基板上。 | ||
| 搜索关键词： | 移动 装置 曝光 平板 显示器 制造 方法 器件 | ||
【主权项】：
一种移动体装置，其具有：支承部件，其以非接触方式支承具有规定图案的物体的一面；保持部件，其保持以非接触方式支承的所述物体的另一面；以及驱动部件，其设置在所述保持部件上，变更所述物体相对于所述支承部件在第一方向上的位置。
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