[发明专利]柔性压力传感器及其制备方法有效
| 申请号： | 201611144675.9 | 申请日： | 2016-12-13 |
| 公开（公告）号： | CN106644189B | 公开（公告）日： | 2018-12-07 |
| 发明（设计）人： | 孙蓉;张愿;胡友根;朱朋莉 | 申请（专利权）人： | 中国科学院深圳先进技术研究院 |
| 主分类号： | G01L1/18 | 分类号： | G01L1/18 |
| 代理公司： | 深圳中一专利商标事务所 44237 | 代理人： | 黄志云 |
| 地址： | 518000 广东省深圳*** | 国省代码： | 广东;44 |
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| 摘要： | 本发明提供了一种柔性压力传感器，包括两层柔性导电复合薄膜，两层所述柔性导电复合薄膜层叠结合，且一所述柔性导电复合薄膜朝向另一所述柔性导电复合薄膜的表面形成有呈周期性排列的单层微半球阵列。 | ||
| 搜索关键词： | 导电复合薄膜 柔性压力传感器 两层 周期性排列 半球阵列 表面形成 层叠结合 单层 制备 | ||
【主权项】：
1.一种柔性压力传感器的制备方法，其特征在于，所述柔性压力传感器包括两层柔性导电复合薄膜，两层所述柔性导电复合薄膜层叠结合，且一所述柔性导电复合薄膜朝向另一所述柔性导电复合薄膜的表面形成有呈周期性排列的单层微半球阵列；所述柔性压力传感器的制备包括以下步骤：提供一基底，将所述基底进行表面亲水处理，在所述基底的一亲水表面制备紧密排列的单层胶体微球阵列；在所述单层胶体微球阵列表面沉积PDMS材料，固化形成PDMS层，且所述PDMS层的厚度大于所述单层胶体微球阵列的高度；将粘结有所述单层胶体微球阵列的PDMS层从所述基底上剥离，采用溶剂溶解形成单层胶体微球阵列的胶体微球，得到具有周期性排列的微纳凹洞的柔性PDMS模板；在所述柔性PDMS模板设置微纳凹洞的表面浇注碳纳米管和PDMS的混合液，固化形成柔性导电复合预制薄膜，且所述柔性导电复合预制薄膜的厚度大于所述微纳凹洞的高度；将所述柔性导电复合预制薄膜从所述柔性PDMS模板上剥离，得到一表面形成周期性排列的单层微半球阵列的柔性导电复合薄膜；将两个所述柔性导电复合薄膜的微半球阵列面相对设置，引出电极，得到柔性压力传感器。
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