[发明专利]一种半导体锡球共面性测试系统及方法在审

专利信息
申请号: 201611144705.6 申请日: 2016-12-13
公开(公告)号: CN108613640A 公开(公告)日: 2018-10-02
发明(设计)人: 王龙;王家松 申请(专利权)人: 海太半导体(无锡)有限公司
主分类号: G01B11/30 分类号: G01B11/30
代理公司: 无锡市朗高知识产权代理有限公司 32262 代理人: 赵华
地址: 214000 江苏省无*** 国省代码: 江苏;32
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摘要: 发明提供一种半导体锡球共面性测试系统及方法,包括有:测量模块和数据处理模块,其特征在于,所述测量模块连接在数据处理模块上,所述数据处理模块包括无线接收模块、理想平面设定模块、平面度计算模块,所述无线接收模块、理想平面设定模块、平面度计算模块依次串联。本发明结构简单,操作方便,能够准确测量产品的平面度,严格监控产品共面性,提高工作效率,为生产高质量的产品提供保障。
搜索关键词: 数据处理模块 共面性 平面度 无线接收模块 测量模块 测试系统 计算模块 理想平面 锡球 半导体 产品提供 工作效率 监控产品 依次串联 准确测量 生产
【主权项】:
1.一种半导体锡球共面性测试系统,包括有:测量模块和数据处理模块,其特征在于,所述测量模块连接在数据处理模块上,所述数据处理模块包括无线接收模块、理想平面设定模块、平面度计算模块,所述无线接收模块、理想平面设定模块、平面度计算模块依次串联。
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