[发明专利]一种用液体大面积翻转铁电薄膜极化的装置及其应用有效
| 申请号： | 201611145191.6 | 申请日： | 2016-12-13 |
| 公开（公告）号： | CN106784298B | 公开（公告）日： | 2019-05-14 |
| 发明（设计）人： | 张金星;田瑜 | 申请（专利权）人： | 北京师范大学 |
| 主分类号： | H01L41/257 | 分类号： | H01L41/257 |
| 代理公司： | 北京正理专利代理有限公司 11257 | 代理人： | 张文祎;赵晓丹 |
| 地址： | 100875 北*** | 国省代码： | 北京;11 |
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| 摘要： | 本发明公开了一种用液体大面积翻转铁电薄膜极化的装置，包括信号发生器、对电极、衬底、形成在衬底上的底电极、形成在底电极上的铁电薄膜、容器和液体；对电极、衬底、底电极和铁电薄膜均放置在容器内的液体中；底电极通过导线接地，底电极与导线连接处不与液体接触；对电极通过导线连接信号发生器；信号发生器置于容器外。本发明实现了大面积的铁电薄膜极化的全部来回翻转，且翻转过程不会破坏铁电薄膜表面结构。翻转转处理过程简便，易于实现，且成本低廉，便于工业的广泛应用。 | ||
| 搜索关键词： | 一种 液体 大面积 翻转 薄膜 极化 装置 及其 应用 | ||
【主权项】：
1.一种用液体大面积翻转铁电薄膜极化的装置，其特征在于，所述装置由信号发生器、对电极、衬底、形成在衬底上的底电极、形成在底电极上的铁电薄膜、容器和液体组成；所述对电极、衬底、底电极和铁电薄膜均放置在容器内的液体中；所述底电极通过导线接地，所述底电极与导线连接处不与液体接触；所述对电极通过导线连接信号发生器；所述信号发生器置于容器外。
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