[发明专利]光学的位置测量装置有效
| 申请号： | 201611145290.4 | 申请日： | 2016-12-13 |
| 公开（公告）号： | CN106989666B | 公开（公告）日： | 2020-02-14 |
| 发明（设计）人： | 彼得·施佩克巴赫尔;托比亚斯·格林德尔;克里斯蒂安·博梅尔;约瑟夫·魏德曼 | 申请（专利权）人： | 约翰内斯.海德汉博士有限公司 |
| 主分类号： | G01B11/00 | 分类号： | G01B11/00;G01D5/347;G01D5/38 |
| 代理公司： | 11240 北京康信知识产权代理有限责任公司 | 代理人： | 余刚;李慧 |
| 地址： | 德国特劳*** | 国省代码： | 德国;DE |
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| 摘要： | 本发明涉及一种用于三个空间方向的光学的位置测量装置，具有整体量具和扫描板。位置测量装置具有：布置在扫描板上的分隔栅，用于使光分隔为不同的衍射级的多条子射线；和整体量具上的光学的栅格，用于进一步分隔子射线并且用于使这些进一步分隔的子射线在其反射之后由扫描板重聚。此外，位置测量装置具有：在扫描板的朝向整体量具的侧面上的多个栅格区，它们用作为影响在整体量具上进一步分隔的子射线的衍射光学系统；以及布置在扫描板上的分离栅格，用于使作为干涉的子射线束多次在整体量具和扫描板之间反射的光分离。位置测量装置的特征在于，多个构造为相栅的栅格区的梯级高度是可变的。 | ||
| 搜索关键词： | 光学 位置 测量 装置 | ||
【主权项】：
1.一种光学的位置测量装置，具有整体量具(M)和扫描板(A)，所述整体量具和扫描板的相对彼此的位置能借助于多个干涉的光线在三个线性地相互独立的空间方向(X，Y，Z)上确定，其中，两个所述空间方向(X，Y)平行于所述整体量具(M)的平面并且平行于所述扫描板(A)的平面，并且第三空间方向(Z)利用一个分量垂直于两个所述空间方向，所述位置测量装置具有：布置在所述扫描板(A)上的分隔栅(Ga)，用于使光(L)分隔为不同衍射级的多条子射线(+1，0，-1)；布置在所述整体量具(M)上的光学的栅格(Gm)，用于进一步分隔所述子射线(+1，0，-1)并且用于使进一步分隔的所述子射线(+1，0，-1)在所述子射线反射之后由所述扫描板(A)重聚；在所述扫描板(A)的朝向所述整体量具(M)的侧面上的多个栅格区(A1-A4，B1-B4，X1-X4)，所述栅格区用作为影响在所述整体量具(M)上进一步分隔的所述子射线(+1，0，-1)的衍射的光学系统；布置在所述扫描板(A)上的分离栅格(Gk)，用于使多次在所述整体量具(M)和所述扫描板(A)之间反射的所述光作为干涉的子射线束分离，其特征在于，/n多个构造为相栅的所述栅格区(A1-A4，B1-B4，X1-X4)的梯级高度(t1，t2，t3)是能变的。/n
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