[发明专利]一种阻抗匹配方法、阻抗匹配系统和半导体处理装置有效
| 申请号： | 201611146069.0 | 申请日： | 2016-12-13 |
| 公开（公告）号： | CN108231516B | 公开（公告）日： | 2019-10-11 |
| 发明（设计）人： | 张璐 | 申请（专利权）人： | 北京北方华创微电子装备有限公司 |
| 主分类号： | H01J37/32 | 分类号： | H01J37/32;H05H1/46 |
| 代理公司： | 北京天昊联合知识产权代理有限公司 11112 | 代理人： | 彭瑞欣;罗瑞芝 |
| 地址： | 100176 北*** | 国省代码： | 北京;11 |
| 权利要求书： | 查看更多 | 说明书： | 查看更多 |
| 摘要： | 本发明提供一种阻抗匹配方法、阻抗匹配系统和半导体处理装置。该阻抗匹配方法包括：检测射频脉冲的开启关闭状态；若射频脉冲为开启状态，计算并调整匹配网络中可变元件的值到目标值，以使负载阻抗与射频源的阻抗相匹配；若射频脉冲为关闭状态，判断负载阻抗是否在第一预设范围内或者腔室内的等离子体密度是否小于第二预设值；如果是，保持可变元件的值为所述目标值；如果否，调整可变元件的值返回初始预设值。该阻抗匹配方法不仅能够在确保阻抗成功匹配的前提下，加快阻抗匹配速度，从而降低匹配网络失配的风险；而且能够在脉冲关闭阶段等离子体熄灭时，避免脉冲再次开启时的起辉失败和匹配网络由于输出电压较低所导致的阻抗失配。 | ||
| 搜索关键词： | 阻抗匹配 可变元件 匹配网络 射频脉冲 预设 等离子体 半导体处理装置 阻抗匹配系统 负载阻抗 脉冲 阻抗 匹配 开启状态 输出电压 阻抗失配 射频源 起辉 失配 熄灭 室内 返回 检测 失败 成功 | ||
【主权项】：
1.一种阻抗匹配方法，其特征在于，包括：步骤S10：检测射频源输出的射频脉冲的开启关闭状态；若所述射频脉冲为开启状态，执行步骤S11：计算并调整匹配网络中可变元件的值到目标值，以使负载阻抗与所述射频源的阻抗相匹配；若所述射频脉冲为关闭状态，执行步骤S12：判断所述负载阻抗是否在第一预设范围内或者腔室内的等离子体密度是否小于第二预设值；如果是，则执行步骤S13：保持所述可变元件的值为所述目标值；如果否，则执行步骤S14：调整所述可变元件的值返回初始预设值；其中，所述负载阻抗包括所述腔室的阻抗或者所述腔室的阻抗与所述匹配网络的阻抗之和。
下载完整专利技术内容需要扣除积分，VIP会员可以免费下载。
该专利技术资料仅供研究查看技术是否侵权等信息，商用须获得专利权人授权。该专利全部权利属于北京北方华创微电子装备有限公司，未经北京北方华创微电子装备有限公司许可，擅自商用是侵权行为。如果您想购买此专利、获得商业授权和技术合作，请联系【客服】
本文链接：http://www.vipzhuanli.com/patent/201611146069.0/，转载请声明来源钻瓜专利网。
