[发明专利]纳米压印方法在审
| 申请号： | 201611148304.8 | 申请日： | 2016-12-13 |
| 公开（公告）号： | CN106681102A | 公开（公告）日： | 2017-05-17 |
| 发明（设计）人： | 崔德虎;邓丹丹;王高中 | 申请（专利权）人： | 南方科技大学 |
| 主分类号： | G03F7/00 | 分类号： | G03F7/00 |
| 代理公司： | 广州华进联合专利商标代理有限公司44224 | 代理人： | 潘霞 |
| 地址： | 518055 广东省深圳市南*** | 国省代码： | 广东;44 |
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| 摘要： | 本发明涉及一种纳米压印方法，包括步骤：提供集成模具；所述集成模具包括平面板以及紧密固定在所述平面板上的多个具有纳米图案的单元模具；提供衬底；在所述衬底表面形成光刻胶层；将所述集成模具压在所述光刻胶层上以将单元模具上的纳米图案复制在所述光刻胶层；分离所述平面板；以及将多个单元模具逐个与所述光刻胶层分离，以完成纳米图案的转移。上述纳米压印方法的脱模过程中，每个单元模具的表面应力较小，从而可以有效避免脱模过程中由于表面应力过大导致的模具损坏以及产品缺陷的问题，进而提高了产品成品率并降低了制造成本。 | ||
| 搜索关键词： | 纳米 压印 方法 | ||
【主权项】：
一种纳米压印方法，包括步骤：提供集成模具；所述集成模具包括平面板以及紧密固定在所述平面板上的多个具有纳米图案的单元模具；提供衬底；在所述衬底表面形成光刻胶层；将所述集成模具压在所述光刻胶层上以将单元模具上的纳米图案复制在所述光刻胶层；分离所述平面板；以及将多个单元模具逐个与所述光刻胶层分离，以完成纳米图案的转移。
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