[发明专利]一种热电优值因子行为显微成像的扫描热电显微术装置有效
| 申请号： | 201611151863.4 | 申请日： | 2016-12-14 |
| 公开（公告）号： | CN108226574B | 公开（公告）日： | 2019-10-18 |
| 发明（设计）人： | 曾华荣;徐琨淇;赵坤宇;陈立东;李国荣 | 申请（专利权）人： | 中国科学院上海硅酸盐研究所 |
| 主分类号： | G01Q60/58 | 分类号： | G01Q60/58 |
| 代理公司： | 上海专利商标事务所有限公司 31100 | 代理人： | 郭蔚 |
| 地址： | 200050 上海*** | 国省代码： | 上海;31 |
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| 摘要： | 本申请公开了一种热电优值因子行为显微成像的扫描热电显微术装置，用于实现一被测热电材料样品的亚表面热电优值因子行为的高分辨显微成像，包括：亚表面热电信号原位激发模块，用于原位激发被测热电材料样品的亚表面热电塞贝克电流信号；热电信号原位检测模块，用于对被测热电材料样品的亚表面热电塞贝克电流信号进行原位实时检测；热电信号显微成像模块，用于对亚表面热电优值因子信号的高分辨显微成像并显示。本申请的具有亚表面热电信号原位激发、原位同步表征的独特功能，且具有高分辨率、高灵敏度、高信噪比、测试直接等优点。本申请的关键技术装置结构简单、兼容性强，适与不同商用扫描电子显微镜系统相结合，是一项易于推广和应用的新技术。 | ||
| 搜索关键词： | 热电 亚表面 显微成像 热电信号 热电材料样品 电流信号 高分辨 显微术 激发 扫描电子显微镜系统 扫描 申请 独特功能 高分辨率 高灵敏度 关键技术 实时检测 因子信号 原位检测 装置结构 兼容性 高信 商用 测试 应用 | ||
【主权项】：
1.一种热电优值因子行为显微成像的扫描热电显微术装置，用于实现一被测热电材料样品的亚表面热电优值因子行为的高分辨显微成像，其特征在于，所述装置进一步包括：亚表面热电信号原位激发模块，用于原位激发所述被测热电材料样品的亚表面热电塞贝克电流信号；热电信号原位检测模块，用于对所述被测热电材料样品的亚表面热电塞贝克电流信号进行原位实时检测；热电信号显微成像模块，用于对亚表面热电优值因子信号的高分辨显微成像并显示；其中，所述热电材料样品的亚表面热电塞贝克电流信号与所述热电优值因子的关系为：![]()
其中，所述I2ω为非线性2ω的塞贝克电流，Π、ZT、τ、P为热电材料的帕尔帖系数、热电优值因子、非线性束流特征弛豫时间及电子动能转化的热功率密度，所述非线性2ω的塞贝克电流I2ω的大小反映所述被测材料样品的微区热电优值因子行为的分布不均匀性。
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