[发明专利]一种阻挡水雾装置及划片机有效

专利信息
申请号: 201611151865.3 申请日: 2016-12-14
公开(公告)号: CN106514886B 公开(公告)日: 2018-09-11
发明(设计)人: 吕超;孙彬;秦江;岳芸 申请(专利权)人: 北京中电科电子装备有限公司
主分类号: H01L21/00 分类号: H01L21/00;B28D7/00
代理公司: 北京银龙知识产权代理有限公司 11243 代理人: 许静;刘伟
地址: 100176 北京市经*** 国省代码: 北京;11
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摘要: 发明提供一种水雾阻挡装置及划片机,阻挡水雾装置包括设置在第一气孔和第二气孔的侧壁的具有导向作用的第一气槽、第二气槽和分别与第一气槽、第二气槽连通的第一气体流通通道、第二气体流通通道以及第一进气口、第二进气口,压力气体依次通过气管、第一进气口、第一气体流通通道以及第一气槽,压力气体同时还依次通过气管、第二进气口、第二气体流通通道以及第二气槽,分别在第一气孔与第二气孔中形成气旋,具有结构简单,安装方便,便于维修的优点,同时与原有显微镜部件连接,空间利用率高,成本低,实用性强,适合各种复杂机型,可广泛应用划片机领域。
搜索关键词: 一种 阻挡 水雾 装置 划片
【主权项】:
1.一种阻挡水雾装置,其特征在于,所述阻挡水雾装置包括:底板和与所述底板连接的相对设立的侧壁,所述底板表面沿着所述底板的厚度方向设置有第一气孔和第二气孔,第一气孔和第二气孔的孔壁上沿着径向方向分别设置有具有导向作用的第一气槽和第二气槽,所述底板的侧面设置有第一进气口和第二进气口,所述底板的内部设置有第一气体流通通道和第二气体流通通道,所述第一气体流通通道的一端与所述第一气槽连通,所述第一气体流通通道的另一端连接第一进气口,所述第二气体流通通道的一端与所述第二气槽连通,所述第二气体流通通道的另一端连接第二进气口,所述第一进气口与所述第二进气口连接输送压力气体的气管;所述压力气体依次通过气管、第一进气口、第一气体流通通道以及第一气槽,在第一气孔中形成阻挡水雾的气旋,所述压力气体同时还依次通过气管、第二进气口、第二气体流通通道以及第二气槽,在第二气孔中形成阻挡水雾的气旋。
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