[发明专利]一种双探针原子力显微镜快速逼近装置及方法

摘要

本发明涉及微纳米区域物性测量及操控技术领域，尤其涉及一种基于激光检测式的双探针原子力显微镜快速逼近装置及方法。该双探针原子力显微镜快速逼近方法为：主探针沿水平的X轴、Y轴方向调节，从探针沿垂直的Z轴方向调节；调整主探针和从探针的激光器，从探针的激光器发射的光线经过反光镜反射，光线的光斑垂直射在从探针悬臂梁上。本发明提供的一种双探针原子力显微镜快速逼近方法，该方法将需要Z轴向调节的从探针的入射光通过反光镜调整为垂直方向射入，因此，在调节时不会出现偏离悬臂梁的现象，进而对于激光器仅需一次调节即可，逼近方法得到极大的简化，之后，再通过对主探针和从探针进行微调，直至两者均与样品接触，即完成逼近操作。

主权项

1.一种双探针原子力显微镜快速逼近装置，其特征在于，包括显微镜底座(1)，所述显微镜底座(1)上设有检测头基座(2)，所述检测头基座(2)通过升降组件与所述显微镜底座(1)连接，所述显微镜底座(1)与所述检测头基座(2)之间设有样品扫描平台(3)，所述样品扫描平台(3)上设有用于放置样品的样品台(4)，所述检测头基座(2)上设有主探针组件和从探针组件；所述主探针组件包括主探针(5)，所述主探针(5)连接有第一悬臂梁(6)，所述第一悬臂梁(6)上方设有第一激光器(7)和第一光电接收器(8)，所述第一悬臂梁(6)连接有XY轴微米定位台(9)；所述从探针组件包括从探针(10)，所述从探针(10)连接有第二悬臂梁(11)，所述第二悬臂梁(11)上方设有第二激光器(12)、反光镜(13)和第二光电接收器(14)，所述第二悬臂梁(11)连接有Z轴微米定位台(15)；还包括控制器(16)，所述控制器(16)连接有上位机(17)，所述控制器(16)连接有所述第一光电接收器(8)和所述第二光电接收器(14)，所述上位机(17)与所述升降组件、所述样品扫描平台(3)、所述XY轴微米定位台(9)及所述Z轴微米定位台(15)连接。