[发明专利]自由曲面光学元件的在位检测装置及检测方法

摘要

本发明公开了一种自由曲面光学元件的在位检测装置，包括旋转主轴、Z轴、X轴以及竖直布置于所述Z轴上方的Y轴模块，所述旋转主轴水平设置于X轴的上方并与所述Z轴平行，旋转主轴上夹持有自由曲面光学元件，所述Y轴模块包括滑块和立柱，所述滑块滑设于所述立柱上，所述滑块上设有用于对所述自由曲面光学元件进行在位测量的位移传感器。本发明还提供前述装置的在位检测方法。本发明的装置可实现自由曲面光学元件的高精度在位检测。

主权项

1.一种自由曲面光学元件的在位检测装置，其特征在于，包括旋转主轴（2）、Z轴（7）、X轴（8）以及竖直布置于所述Z轴（7）上方的Y轴模块（1），所述旋转主轴（2）水平设置于X轴（8）的上方并与所述Z轴（7）平行，旋转主轴（2）上夹持有自由曲面光学元件（3），所述Y轴模块（1）包括滑块（11）和立柱（16），所述滑块（11）滑设于所述立柱（16）上，所述滑块（11）上设有用于对所述自由曲面光学元件（3）进行在位测量的位移传感器（5）；所述Y轴模块（1）还包括驱动机构（17），所述驱动机构（17）与所述滑块（11）连接并驱动所述滑块（11）在所述立柱（16）上移动；所述驱动机构（17）包括驱动电机（171）、上同步带轮（176）、下同步带轮（178）以及用于连接所述上同步带轮（176）和所述下同步带轮（178）的同步皮带（177），所述上同步带轮（176）与所述驱动电机（171）连接，所述同步皮带（177）上设有同步带连接板（170），所述同步带连接板（170）固定于所述滑块（11）上。