[发明专利]一种高硬度、高弹性模量的多组元氮化物涂层及其制备方法在审
| 申请号： | 201611153024.6 | 申请日： | 2016-12-14 |
| 公开（公告）号： | CN106835037A | 公开（公告）日： | 2017-06-13 |
| 发明（设计）人： | 李伟;黄纯可;刘平;张柯;马凤仓;刘新宽;陈小红;何代华 | 申请（专利权）人： | 上海理工大学 |
| 主分类号： | C23C14/35 | 分类号： | C23C14/35;C23C14/06 |
| 代理公司： | 上海申汇专利代理有限公司31001 | 代理人： | 吴宝根 |
| 地址： | 200093 *** | 国省代码： | 上海;31 |
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| 摘要： | 本发明一种高硬度、高弹性模量的多组元氮化物涂层，其化学式为AlCrTiZrNbN，Al、Cr、Ti、Zr、Nb和N元素的原子比分别为8~12%8~12%8~12%8~12%8~12%48~52%，涂层的厚度为2～5μm。本发明还提供了上述氮化物涂层的制备方法，先将基体表面作镜面抛光处理，然后经过丙酮、酒精的超声清洗，真空离子清洗后，采用射频反应溅射方法沉积AlCrTiZrNbN层，其中AlCrTiZrNbN多组元氮化物涂层由等原子摩尔比的AlCrTiZrNb合金靶材在(Ar+N2)气氛下制得。本发明的涂层具有高硬度和高弹性模量，可作为新型保护性涂层用于刀具、模具等多种服役场合。 | ||
| 搜索关键词： | 一种 硬度 弹性模量 多组元 氮化物 涂层 及其 制备 方法 | ||
【主权项】：
一种高硬度、高弹性模量的多组元氮化物涂层，其特征在于：其化学式为AlCrTiZrNbN，Al、Cr、Ti、Zr、Nb和N元素的原子比分别为8~12%：8~12%：8~12%：8~12%：8~12%：48~52%，所述涂层的厚度为2～5μm。
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